C4F6는 반도체 에칭가스로 반도체 공정 중 포토리소그래피 공정 후 웨이퍼 위에 일정한 회로패턴을 만들어주기 위해 필요없는 부분을 선택적으로 제거하는 식각공정에 사용된다. WF6는 증착 시 사용되는 가스다. 현재 삼성전자, 하이닉스 등에 공급하고 있다.
반도체 특수가스 가격이 오르는 이유는 수요 대비 공급이 부족하기 때문. 특수가스의 수익성은...
C4F6는 반도체 에칭가스로 반도체 공정 중 포토리소그래피 공정 후 웨이퍼 위에 일정한 회로패턴을 만들어주기 위해 필요없는 부분을 선택적으로 제거하는 식각공정에 사용된다. WF6는 증착 시 사용되는 가스다. 현재 삼성전자, 하이닉스 등에 공급하고 있다.
반도체 특수가스 가격이 오르는 이유는 수요 대비 공급이 부족하기 때문. 특수가스의 수익성은...
테스 관계자는 "반도체 장비분야에서 가스방식 에칭장비 및 PECVD장비 외에 저압화학기상증착장비까지 양산에 성공함으로써 제품다변화를 통한 매출과 수익성 개선이 이뤄질 것으로 기대된다"고 설명했다.
주숭일 테스 대표는 “테스의 연구개발 능력과 고객의 성능검증이 조화를 이뤄 양산적용을 조기에 성공시킬 수 있었다”며 "복잡해지고...
산업용 특수가스는 반도체·디스플레이(LCD/LED/AMOLED 등) 분야의 주요 공정인 에칭, 증착·확산, 불순물 주입, 세정 등의 공정에 핵심 소재로 사용된다. 이에 특수가스 분야는 미세공정에 요구되는 4N(99.99%) ~ 7N(99.99999%)의 고순도 품질 유지가 필수적이며, 반도체 수율과도 직결되는 특성 상, 시장 내 검증된 기업만이 제품 공급의 기회를 갖는다....
기술개발 내용은 ▲SF6 대체가스 적용 반도체 소재의 에칭기술개발 ▲SF6 대체 함불소 화합물 개발 ▲11세대급 반도체 에칭장비에서의 SF6 대체물질 적용 기술등이다.
한편 지식경제부는 전날 저탄소 녹색성장의 핵심분야인 에너지기술개발사업의 2010년도 상반기 신규 R&D지원과제 사업자를 확정ㆍ지원한다고 밝혔다.
구체적으로 197개 과제...
생활가전은 ▲스테인레스 소재와 ‘포토에칭’ 기법을 이용한 ‘샤인’ 디오스 냉장고 ▲우수한 세탁력과 헹굼력으로 주부들의 세탁 습관까지 바꾸어 주는 세탁기 ‘6모션 트롬' ▲‘인체 감지 로봇’ 기술을 적용한 ‘휘센’ 에어컨 ▲정수기, 이온수기, 의료용 진동기를 비롯한 헬스케어 제품 ▲ ‘디오스’ 빌트인 가전 등을 선보였다.
특히 올해...
◆ SF6 란?
SF6(육불화황)은 LCD 패널의 에칭공정에 사용되거나 가스 절연변압기나 배전반 등에 절연체로 사용되는 무독성 기체다. 온난화지수는 이산화탄소 대비 23,900배 높다.
LG상사의 육불화황 저감설비는 LCD 패널 에칭공정에서 사용되고 남은 육불화황을 대기 중으로 배출하기 이전에 섭씨 1300도의 고온으로 가열해 분해하는 방법이다.