[Stock Focus]아이피에스 “삼성전자와 ‘불활가스 대체기술 개발’ 국책과제 수행”

아이피에스의 '산업 공정용 온실가스(불활성 가스) 대체기술개발' 과제가 지경부 지원 2010 신규 에너지R&D 과제에 선정됐다.

아이피에스가 주관기관으로 삼성전자, 코미코, 숭실대등이 공동으로 참여하는 이번 과제는 SF6 대체가스 적용 공정기술 및 대체물질 개발이 목표다.

기술개발 내용은 ▲SF6 대체가스 적용 반도체 소재의 에칭기술개발 ▲SF6 대체 함불소 화합물 개발 ▲11세대급 반도체 에칭장비에서의 SF6 대체물질 적용 기술등이다.

한편 지식경제부는 전날 저탄소 녹색성장의 핵심분야인 에너지기술개발사업의 2010년도 상반기 신규 R&D지원과제 사업자를 확정ㆍ지원한다고 밝혔다.

구체적으로 197개 과제(총지원금 1110억원)에 대해 삼성SDI 등 345개 기관과 협약을 체결해 7월부터 본격 기술개발을 시작한다.

지식경제부는 "올해 신규과제 사업비의 43% 이상을 태양광ㆍ풍력ㆍ연료전지ㆍ전력ITㆍ히트펌프등 15대 그린에너지 전략로드맵에서 도출된 핵심기술분야에 지원했다"며 "에너지기술의 산업화와 녹색성장에 기여할 것으로 기대된다"고 밝혔다.