이를 통해 기존의 디스플레이용 노광장비로도 현재 만들 수 있는 크기의 100분의 1 수준에 해당하는 수십 나노미터의 초미세 패턴을 구현할 수 있게 했다.
LG디스플레이 관계자는 "유연한 재질의 마스크는 휘어진 기판에도 적용 가능해, 다양한 형태의 디스플레이 생산에 이바지할 가능성이 기대된다"고 설명했다.
본 논문의 공동 저자인 LG 디스플레이...
포토레지스트는 빛의 노출에 반응해 화학적 성질이 바뀌는 감광액으로 반도체 웨이퍼 위에 정밀한 회로 패턴을 형성하는 ‘노광 공정’에서 쓰이는 핵심 소재다.
반도체 고집적화에 따라 극미세한 패턴 구현이 요구되고 3D 낸드의 적층 경쟁이 심화되면서 수요가 지속적으로 증가하고 있다. 글로벌 포토레지스트 소재 시장은 현재 약 3조5000억 원 규모로 향후 높은...
김 연구원은 "또 내년 미국, 중국, 일본에서 5G 가입자 경쟁 치열해 질 것으로 예상되나, EUV를 노광장비로 사용하는 '하이엔드파운드리'는 TSMC와 삼성전자만 공급할 수 있다"며 "삼성전자는 메모리 반도체, 시스템반도체, 하이엔드파운드리, 5G 스마트폰, 통신장비, 플렉시블 OLED 등 최고의 포트폴리오를 보유했다"고 짚었다.
7일 일본 니혼게이자이 신문에 따르면 ASML은 중국 최대의 파운드리 업체인 국영 SMIC에 올해말까지 제공하기로 했던 EUV(극자외선) 노광장비 납품을 보류하기로 했다.
EUV 노광장비는 ASML이 독자 개발해 독점 생산하고 있어 현재로서는 대체가 불가능하다.
EUV 노광장비는 기존에 사용되던 불화아르곤보다 반도체 웨이퍼에 미세한 회로를 그리는 데 적합해...
최근 ArF 노광장비를 들여놓으며 ArF용 PR 자체 테스트 역량을 확보한 동진쎄미켐은 포토레지스트, CMP 슬러시, CMP 패드 등 주력 반도체 소재를 전시한다.
이 외에도 세계 최고 반도체장비 기술력을 갖고 있는 원익IPS(ALD), 이오테크닉스(레이저마커), 엑시콘(SSD Tester), SK실트론(300mm 웨이퍼) 등 초미세공정과 3차원 소자 공정에 적합한 반도체 생산 소재...
화이트리스트 배제 조치로 규제 범위가 웨이퍼 등 원재료와 핵심 공정소재, 주요 전(前) 공정 장비 등으로 확산될 경우에는 대부분의 품목이 대일 의존도가 매우 높기 때문에 생산 차질로 이어질 가능성도 배제할 수 없다.
SK하이닉스의 경우 현재 발효된 PR 규제의 경우에는 현재 노광공정에 KrF 및 ArF용 광원이 주로 사용되기 때문에 영향이 크지 않으나...
반도체 관련 품목은 이미 수출 규제에 들어간 3개 소재를 포함해 IC, 노광장비, CVD, 이온 주입기, 웨이퍼, 블랭크 마스크 등이 영향을 받을 수 있다. 반도체 코리아에 찾아온 최대 위기다.
특히 일본은 삼성전자가 미래 성장동력으로 키우는 파운드리 사업에 칼날을 꽂았다. 삼성은 파운드리 사업 청사진 발표와 동시에 퀄컴·IBM·엔비디아·인텔 등 글로벌 고객사들을...
전 공정 장비의 일본 의존도가 높은 디스플레이의 경우 증착장비, 노광장비 등의 국산화를 추진할 것으로 보인다. 특히 향후 비교적 큰 폭의 설비투자 증가가 예상되는 대형 OLED 증착장비의 경우 오픈 마스크를 적용해 중소형 OLED용 증착장비 대비 국산화 추진이 용이할 것으로 예상된다.
2차전지 주요 소재 중 일본 의존도가 높은 음극바인더, 양극바인더, 파우치...
반도체 관련 품목은 이미 수출규제에 들어간 플루오린 폴리이미드, 레지스트(PR), 에칭가스(고순도불화수소) 등 3개 소재를 포함해 IC, 노광장비, CVD, 이온주입기, 웨이퍼, 블랭크 마스크 등이 영향을 받을 것으로 보인다.
이 가운데 IC, 노광장비, CVD, 이온주입기 등은 지정되더라도 국내 반도체 업종에 큰 영향이 없다.
IC는 일본 업체의 존재감이 미미하다. CPU, AP, BB...
김광진 케이프투자증권 연구원은 “HDP Etcher 부분은 노광 및 현상 공정 이후 박막 식각 시 사용되는 플라즈마 장비. SDC와 LGD를 비롯 BOE, GVO, CSOT, Tianma 등 중국 메이저 패널업체들과 거래 중”이라며 “증착물류시스템은 유기물 증착장비를 구성하는 물류 챔버로 글로벌 1위 증착장비 업체인 Canon Tokki에 2016년부터 독점 공급하고 있다”고...
리소그래피 장비, 이온주입기, 웨이퍼, 블랭크 마스크 등이다.
모두 일본 수출 규제의 주요 근거로 작용하고 있는 ‘수출무역관리령’의 통제대상품목(1∼15항)에 포함된 제품들이다. 이 가운데 가장 문제가 되는 품목은 블랭크 마스크다. 블랭크(blank) 마스크는 노광 공정에 사용되는 포토마스크의 원재료다. 반도체 공정이 미세화하며 그 중요성이 더욱 커지고...
도현우 NH투자증권 연구원은 “일본이 추가 수출 규제를 할 경우 예상 가능한 반도체 관련 품목은 IC, 노광장비, CVD, 이온주입기, 웨이퍼, 블랭크 마스크 등”이라며 “이 중 IC, 노광장비, CVD, 이온주입기 등은 지정되더라도 국내 반도체 업종에 큰 영향이 없으며 IC는 일본 업체 존재감이 미미하다”고 말했다.
그는 “증착과 식각 장비를 주로 만드는 도쿄일렉트론은...
3개 품목은 △유기EL 디스플레이에 쓰이는 ‘플루오린 폴리이미드’ △반도체 웨이퍼 위에 회로를 인쇄하는 노광공정에 필요한 ‘포토리지스트’(감광액) △반도체 회로의 패턴 가운데 불필요한 부분을 깎아낼 때 사용하는 ‘고순도 불화수소’(애칭가스) 등이다.
특히 우리나라는 포토리지스트 수입 대부분을 일본에 의존했다. 한국무역협회에 따르면 올해 1~5월...
양산 기술은 극자외선(EUV) 노광 장비를 쓰는 7나노 공정이다.
퀄컴은 10나노 공정까지 삼성전자 파운드리를 활용해 칩을 생산했지만, 지난해 첫 7나노 제품은 TSMC에 맡겼다.
그러나 퀄컴은 내년에 출시할 차세대 칩 생산 업체로 삼성전자를 선택했다. 삼성전자는 세계 최초로 7나노 EUV 양산라인을 구축하며 경쟁력을 끌어 올렸다. 삼성전자는 지난 4월...
노광은 웨이퍼에 빛을 쬐여 회로 패턴을 그리는 공정이다.
EUV는 빛 파장이 13.5나노미터(㎚)로 현재 첨단 반도체 양산 라인에서 쓰이는 불화아르곤(ArF) 액침 장비(193㎚)보다 짧다. 빛 파장이 짧으면 더 미세하게 회로 패턴을 새길 수 있다.
EUV를 활용해 각 회로 레이어별로 여러 번 새길 패턴을 한 번에 새길 수 있다면 원가를 대폭 절감할 수 있다....
이어 도 연구원은 “EUV 노광과 기술적으로 대치 관계에 있는 멀티패터닝을 주도하는 AMAT와 램리서치 등이 멀티패터닝 비용을 줄이는데 최근 연구를 집중하고 있다”고도 전했다.
그는 “특히 증착과 에칭 장비 가격에 대한 공격적인 인하를 검토하고 있는 것으로 파악된다”며 “장비 업체간 경쟁으로 삼성전자, SK하이닉스, TSMC 등의 반도체 생산 업체들의...
검사 장비의 핵심 기술인 광학 설계기술을 이용해 자외선(UV) 노광장비, 레이저 가공 장비 등을 개발한 후 고객사에 납품하는 방식이다. 그러나 최근 디스플레이 업종의 투자심리가 나빠지면서 16일 종가기준 6590원을 기록해 주가도 공모가 1만원 대비 급락한 상태다.
이에 신사업으로 내세운 2차전지, 3D 검사, AI 영상처리 등에 투자자들의 관심이 높아지고 있다....
이천 본사 내 5만3000㎡ 부지에 들어서는 M16은 차세대 노광장비인 EUV 전용 공간이 별도로 조성된 최첨단 반도체 공장이다. SK하이닉스의 미래 성장 기반으로 활용된다. 이 공장은 2020년 10월 완공 예정이다. 생산 제품의 종류와 규모는 향후 시장 상황과 회사의 기술발전 등을 고려해 결정할 방침이다.
최태원 SK그룹 회장은 격려사를 통해 “SK하이닉스는 어려운...
이를 위해 반도체 장비ㆍ재료 업계, 학계, 연구소 등 경계 없는 협력을 강조했다. 또 GAA 구조를 적용한 3나노 공정 등 삼성전자 파운드리 미래 기술을 공개했다.
삼성전자 파운드리 사업부장 정은승 사장은 3일(현지시간) 미국 샌프란시스코에서 열린 '국제반도체소자학회(IEDM)'에서 '4차 산업혁명과 파운드리(4th Industrial Revolution and Foundry: Challenges and...
EUV는 불화아르곤을 대체할 수 있는 노광 장비의 광원으로 기존 불화아르곤보다 파장의 길이가 14분의 1 미만에 불과해 보다 세밀한 반도체 회로 패턴을 구현하는 데 적합하고, 복잡한 멀티 패터닝 공정을 줄일 수 있어 반도체의 고성능과 생산성을 동시에 확보할 수 있는 장점이 있다.
이번 7LPP 공정은 10LPE 대비 면적을 약 40% 줄일 수 있으며, 약 20% 향상된...