반도체 공정용 나노급 필터 국산화 성공…시노펙스, 공장 준공

시노펙스, ‘소부장 협력모델’ 지원으로 반도체 공정 부품 생산 설비 준공

▲반도체 칩이 인쇄회로기판 위에 보인다. (로이터연합뉴스)

100% 수입에 의존하던 반도체 세정 공정용 나노(nm)급 필터의 자립 생산이 시작된다.

산업통상자원부는 이승렬 산업정책실장이 17일 나노급 필터 생산 기업인 시노펙스의 동탄 공장 신규 생산 라인 준공식에 참석했다고 밝혔다.

산업부에 따르면 나노급 필터는 반도체 세정용 화학 물질의 불순물을 정제하기 위한 필터로, 필터 성능이 반도체 수율과 직결된다.

반도체 선폭의 미세화에 따라 초미세 오염 물질을 제거하는 세정 공정의 중요성이 주목받고 있다. 그간 세정 공정의 핵심 부품인 나노급 필터는 전량 수입에 의존했지만, 이번 생산라인 준공으로 연 1만 개(1200억 원) 규모의 나노필터 양산설비를 구축, 국내 수요(8000개·1000억 원) 100% 이상의 생산 능력을 가진 공장을 국내에 확보할 수 있게 됐다.

산업부는 이번 성과에 대해 수요-공급기업 간 상생협력이 있었기에 가능했다고 설명했다.

국내 반도체 세정 장비사들은 공급망 리스크 완화를 위해 시노펙스에 기술개발을 요청했고, 시노펙스는 국내 장비사에 고품질 나노필터 공급을 위한 기술개발에 착수했다. 산업부는 '소부장 협력모델'을 통해 연구개발(R&D) 등을 신속히 지원해 수요-공급기업의 협력을 뒷받침했다.

한편, 준공식에 이어 이 실장은 밸류체인으로 상호 연결된 수요-공급기업이 참석하는 '반도체 소부장 수요-공급기업 간담회'를 열었다.

간담회에서는 △기술 선점을 위한 공동 R&D 협력 △반도체 핵심 소부장의 국내 생산 촉진 협력 △글로벌 통상 환경 변화에 따른 대응 등 반도체 초격차 경쟁력 확보 및 공급망 안정화를 위한 협력 방안을 논의했다.

이 실장은 "첨단 산업 경쟁력 확보 및 공급망 강화를 위해서는 수요,공급기업 간 협력이 중요하다"라며 "10일 '소부장 특별법' 개정으로 '소부장 특별회계'가 5년 연장되고 '소부장 및 공급망 안정화 특별회계'로 확대 개편된 만큼, 정부는 첨단산업 초격차 R&D 및 공급망 안정성 확보를 위한 투자를 지속해서 확대하겠다"고 말했다.