반도체 업종 맞춤형 유해화학물질 취급시설 기준 시행

반도체 생산설비 특성을 고려해 밀폐 등 유·누출 방지기준 도입

▲삼성전자 반도체공장에서 관계자들이 작업을 하고 있다. (사진제공=삼성전자)

환경부와 화학물질안전원은 '반도체 제조업종 유해화학물질 취급시설 설치 및 관리에 관한 고시'를 제정해 15일 시행한다고 14일 밝혔다.

이번 기준은 완제품 또는 모듈 형태로 설치·운영되는 반도체 제조설비의 특성에 따라 기존 취급시설 기준 적용의 어려움을 해소하고, 공정 특성에 맞게 현장 안전성과 이행력을 높이기 위해 마련됐다.

반도체 제조업체가 사용하는 생산설비는 캐비닛 형태 완제품이나 모듈로 제작돼 공장에 설치된다. 유해화학물질 취급시설 기준을 지키고자 안전장치 등을 설치하거나 기준을 지켰는지 검사하려면 업체나 당국이 제조설비를 임의로 분해해야 하는 문제가 있었다.

이번에 시행되는 고시는 '전자집적회로 제조업'과 '다이오드·트랜지스터 및 유사 반도체소자 제조업'에 적용된다.

고시가 시행되면 내부 배관에 대해 화학물질관리법에 규정된 제작요구서를 첨부해 국제인 증을 받은 완제품 형태 생산설비는 같은 법상 시설 기준을 준수한 것으로 인정된다.

또 설비 내 유해화학물질 누출을 감시하고 차단·처리할 수 있는 장치가 있다면 기존 취급시설 기준에 따른 안전장치를 갖춘 것으로 간주한다.

안전장치를 갖추고 소량의 유해화학물질을 취급하는 설비는 설비의 커버 내 밀폐공간을 유해화학물질 소량 취급시설 기준상 '물리적 분리 공간'으로 인정한다.

환경부는 맞춤형 유해화학물질 취급시설 기준이 필요한 업종이 더 있을 것으로 보고 내년 상반기 업계를 대상으로 수요를 조사할 예정이다.

이형섭 환경부 화학안전과장은 "업종마다 시설 특성이 다름에도 불구하고, 그간 화학물질관리법으로 전산업에 공통으로 적용되는 기준을 운영해 왔다"라며 "앞으로도 현장 여건에 맞게 안전은 확실히 담보하면서 실효성 있는 제도로 정착할 수 있도록 노력하겠다"고 말했다.