[종합] 삼성전자ㆍSK하이닉스, 일본 에칭가스 수입

수입되지 않는 액체 불화수소 국산화 추진 중

일본 정부가 최근 SK하이닉스와 삼성전자가 수입하기로 한 불화수소 수출을 허가한 것으로 확인됐다.

유명희 통상교섭본부장은 2일 국회 산업통상자원중소벤처기업위원회 국정감사에서 일본의 반도체ㆍ디스플레이 소재 3개 품목 대(對) 한국 수출허가 승인 건수에 대해 "총 7건"이라고 말했다.

전날 산업부는 △기체 불화수소(에칭가스) 1건 △플루오린 폴리이미드 1건 △포토레지스트 3건 등 5건이 수출허가를 받았다고 밝힌 바 있는데, 지난달 30일 수출 승인된 에칭가스 2건이 추가로 확인된 것이다.

이번에 수출 승인된 기체 불화수소 2건은 각각 SK하이닉스, 삼성전자가 수입하는 것으로 확인됐다.

이에 대해 SK하이닉스 관계자는 "지난달 말 일본이 반도체 공정에 사용하는 소재인 초고순도 기체 불화수소 수출을 허가했다"며 "아직 한국에 들어오진 않은 상태"라고 밝혔다.

기체 불화수소는 8월 말 처음 수출 허가가 난 바 있으며 당시 수입 기업은 삼성전자였다.

SK하이닉스는 아직 한건도 국내에 들어오지 못한 액체 불화수소(불산액)의 경우 "1일 일부 생산라인에 국산 액체 불화수소를 투입해 사용 중"이라고 설명했다.