"미세공정 한계 극복할까" 반도체 EUV 기술 콘퍼런스 열린다

입력 2019-05-29 15:26

송영록 기자 syr@etoday.co.kr

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!

북마크 되었습니다.
마이페이지에서 확인하세요.

가장작게
작게
기본
크게
가장크게

반도체 미세공정 한계를 극복할 ‘극자외선(EUV, Extreme Ultra Violet)’ 기술 콘퍼런스가 국내 최초로 열린다.

한국반도체연구조합은 다음달 19일 서울 양재동 엘타워 7층에서 ‘반도체 EUV 기술 글로벌 콘퍼런스’를 개최한다고 29일 밝혔다.

삼성전자와 SK하이닉스 등 EUV 생태계에 속한 국내외 다양한 소자 장비 재료 회사가 나와 기술과 시장 변화를 조망한다.

멘토 지멘스 비즈니스, KLA, 에드워드, JSR-EM, 칼자이스 SMT, 인테그리스 등에서는 본사에서 전문가가 참석해 최신 기술 동향을 공유한다.

내달 10일(현지시간)부터 13일까지 미국 캘리포니아에서 열리는 ‘2019 EUVL 워크숍(euvlitho.com)’의 주요 발표를 되짚는 리뷰 세션도 마련됐다.

국내 기업인 에프에스티와 에스앤에스텍도 현재 개발 중인 EUV 기술을 이번 콘퍼런스에서 알린다.

EUV는 포토 리소그래피(Photo Lithography)라 부르는 노광(露光) 공정에 사용된다. 노광은 웨이퍼에 빛을 쬐여 회로 패턴을 그리는 공정이다.

EUV는 빛 파장이 13.5나노미터(㎚)로 현재 첨단 반도체 양산 라인에서 쓰이는 불화아르곤(ArF) 액침 장비(193㎚)보다 짧다. 빛 파장이 짧으면 더 미세하게 회로 패턴을 새길 수 있다.

EUV를 활용해 각 회로 레이어별로 여러 번 새길 패턴을 한 번에 새길 수 있다면 원가를 대폭 절감할 수 있다.

삼성전자와 SK하이닉스, TSMC, 인텔 등 주요 반도체 업체는 EUV를 도입했거나, 도입해 칩을 생산할 계획이다.

이번 행사는 한국반도체산업협회, 한국반도체연구조합이 주최하고 전자부품 전문미디어 디일렉이 주관한다.

#반도체 #EUV #미세공정 #삼성전자 #SK하이닉스

관련 뉴스

좋아요0
화나요0
슬퍼요0
추가취재 원해요0

주요 뉴스

살아남아야 한다…최강야구 시즌3, 월요일 야구 부활 [요즘, 이거]

피융~ 퐁~ 팽~ 콩~ 교옹~ 이 그리웠던 의성어가 다시 들려오는 ‘월요일’입니다. 야구가 없는 월요일을 진정한 ‘야구 요일’로 만들었던 프로그램이죠. JTBC ‘최강야구’가 2024시즌, ‘최강야구 시즌3’로 돌아왔습니다. 1월 22일 성공적인 ‘시즌2’가 마무리된 뒤, 약 3개월의 시간이 지났는데요. 그간 최강 몬스터즈의 비공식 훈련과 트라이아웃에
수영복 입으면 더 잘 뛰나요?…운동복과 상업성의 함수관계 [이슈크래커]

2024 파리올림픽을 앞두고 공개된 미국 여성 육상팀의 경기복에 비판이 쏟아지고 있습니다. 불필요하게 노출이 많고 성차별적이라는 지적이 나온 겁니다. 13일(현지시간) 가디언 등 외신에 따르면 나이키는 11일 프랑스 파리에서 열린 나이키 에어 이노베이션 서밋에서 미국 육상 대표팀이 입을 경기복을 공개했습니다. 문제가 된 건 여성용 경
“보험료 올라가고 못 받을 것 같아”...국민연금 불신하는 2030 [그래픽뉴스]

20·30세대 10명 중 7명 이상은 국민연금제도를 불신하는 것으로 나타났다. 한국여성정책연구원은 ‘미래사회 성평등 정책의 도전과제: 초고령·4차 혁명 사회의 여성 노후소득 보장’ 보고서에서 이러한 설문 결과를 내놨다. 지난해 7~8월 만 20~39세 1152명을 대상으로 온라인 설문한 결과에 따르면 응답자의 75.6%는 ‘국민연금제도를 불신하고
단독 출생신고 않고 사라진 부모…영민이는 유령이 됐다 [있지만 없는 무국적 유령아동①]

중국 국적 친모, 유전자 일치에도 출생신고 완강 거부 "애 아빠는 외계인" "산부인과서 바뀌었다" 황당 주장 국적법상 외국인 부모땐 지자체서 직권 신고도 못해 아동보호소에 머물고 있는 영민(가명)이는 최근 홀로 외로운 두 번째 생일을 맞았다. 친부가 누구인지 모르고 친모는 중국으로 떠나 국내에 가족과 친척이 없다. 친모는 영민이의 출
한국 여권파워, 8년래 최저…11위서 4년 만에 32위로 추락

무비자 입국 및 과세ㆍ자유도 종합 중립국 여권 지수 상대적으로 높아 2020년 11위 한국, 올해 32위로↓ 올해 전 세계에서 여권 파워가 가장 센 나라로 스위스가 꼽혔다. 반면 한국은 조사가 시작된 2017년래 8년 만에 가장 낮은 순위에 머물렀다. 13일 노마드캐피탈리스트 등 국제컨설팅업계에 따르면 스위스 여권의 파워가 '2024 노마드여권지
'최강야구 시즌3' 방출 위기 스토브리그…D등급의 운명은?

'최강야구 시즌3' 첫 방송에서 기존 멤버들의 잔류와 방출을 결정짓는 스토브리그가 공개됐다. 15일 방송된 JTBC '최강야구' 2024 시즌 스토브리그에서 방출 위기에 놓인 선수들의 모습이 전파를 탔다. 우선 A등급의 선수들은 장시원 PD와의 면담 장소에 세상 당당하고 여유로운 모습으로 등장했다. 지난 시즌 성적표를 받아든 이대은, 이대호,
르세라핌 코첼라 라이브 비난에…사쿠라 “최고의 무대였다는 건 사실”

그룹 르세라핌이 코첼라 라이브 실력 비판에 휩싸인 가운데 멤버 사쿠라의 소감글이 논란이 되고 있다. 사쿠라는 15일 글로벌 팬 플랫폼 위버스에 일본어로 장문의 글을 게재했다. 이 글을 통해 사쿠라는 전날 미국 캘리포니아주 인디오의 코첼라 밸리에서 열린 ‘코첼라 밸리 뮤직 앤드 아츠 페스티벌’ 무대에 오른 소회를 밝혔다. 사쿠라는 “
복수가 복수를 낳았다…이스라엘과 이란은 왜 앙숙이 됐나 [이슈크래커]

중동의 긴장감이 이어지고 있습니다. 이란이 지난 주말 사상 처음으로 이스라엘 영토를 직접 공격했고, 이스라엘은 ‘고통스러운 보복’을 언급한 것으로 전해졌습니다. 이스라엘 채널12 방송은 15일(현지시간) 전시 내각에서 다수의 보복 방식이 논의되고 있다면서 이 선택지는 모두 역내 전쟁을 촉발하지 않으면서도 이란에는 고통스러운 방식이