메카로, 세라믹 히터 프로토타입 공개…中 반도체 굴기와 고속성장 시너지 기대

반도체 부품·소재 기업 메카로가 반도체 웨이퍼 세라믹 히터의 시작품(프로토타입)을 공개하며 일본이 독점하던 시장에 두 번째로 국산화에 도전한다. 현재 중국향 매출이 고속성장 중으로 향후 개발이 완료되면 새로운 성장을 이어간다는 전략이다.

15일 메카로 관계자는 “2023년부터 기술연구소에서 세라믹 히터를 개발하기 시작해 최근 세라믹 히터 개발 시작품 4종을 공개했다"며 "칩메이커 검증을 통해 개발을 이어갈 것”이라고 말했다.

세라믹 히터는 기존 소재인 알루미늄 히터의 단점인 열 변형 문제를 극복한 제품으로 꼽힌다. 반도체 웨이퍼 체임버 내 온도가 450도 이상이 되면 메탈히터의 열전도성과 고온안정성이 제약되는 것으로 알려져 있다. 세라믹 소재 히터는 500도 이상의 초고온에서도 견딜 수 있다고 한다.

아직 국산화가 많이 이뤄지지 않은 상태로 NGK 인슐레이터스(NGK Insulators) 등 일본 기업이 전 세계 반도체 장비용 세라믹 부품 시장에서 90% 이상 점유율을 차지한다. 일본으로부터 부품을 원활히 공급받지 못하면 반도체공장(팹)에도 미치는 영향이 크다. 2019년 7월 일본이 반도체 주요 핵심 부품 소재 수출을 규제했을 때 이 같은 우려가 있었다.

국내에선 코미코의 계열사 미코세라믹스가 국산화에 성공해 사업을 하고 있다.

메카로는 중국의 메모리 반도체 투자가 활성화되면서 메탈히터블럭 수출을 늘리고 있다.

특히 지난해 4분기와 올해 1분기 등 역대 최대 분기 매출을 경신하고 있다. 2023년 해외 매출 비중이 40%였지만, 지난해 54.3%로 절반을 넘겼다.

지난해 연결기준 매출액은 628억 원으로 전년 대비 54.2% 증가했고, 영업이익은 41억 원으로 흑자전환했다. 회사 측은 수출이 늘어난 게 실적 개선으로 이어졌다고 설명했다.

올해 1분기 연결 매출액도 전년 동기 대비 72.96% 증가한 215억 원으로 집계됐다.

메카로의 중국향 매출액이 늘어나는 것은 최근 중국이 미국과의 관세 전쟁으로 반도체 굴기를 꿈꾸고 있어서다.

중국은 반도체 굴기를 위해 지난해 3440억 위안(약 64조 원)의 ‘3기 반도체 투자기금’을 발표하는 등 지원을 확대하고 있다. 이는 한국이 지난해 5월 발표한 총 26조 원 규모의 반도체 산업 종합지원 프로그램의 2.5배 수준이다.

이미 중국은 지난 10년간 반도체 산업에 정부기금 3429억 위안(약 64조 원)ㆍ사회자본 9883억 위안(약 186조 원)을 투입했으며, 향후 10년 동안 약 1조5000억 위안(284조 원)을 더 투자하겠다고 선언했다.

중국의 반도체 지원책에 따라 중국 인터내셔널반도체(SMIC)와 창신메모리테크놀로지(CXMT)와 같은 기업들이 공격적인 투자를 계속하고 있다.