박정욱 연구원은 “LCD 공급 과잉과 설비투자 정체로 LCD 장비업체들의 실적 향상은 어려울 전망이나, 꾸준히 연구개발에 매진해 온 주성엔지니어링은 LCD 용 CVD 장비 성공에 이어 미세공정이 심화될수록 수요가 증가하는 반도체용 ALD 장비 판매 증가로 전년 대비 올해 성장이 예상된다”고 전했다.
이어 “주성의 ALD Oxide 는 ZrO2 로 Capacitor...
아이피에스는 플라즈마를 이용한 ALD 박막 증착방법과 관련해 특허를 취득했다고 25일 밝혔다.
아이피에스 관계자는 "이번 발명은 박막을 구성하는 소스와 반응제 이외에 양질의 박막을 얻도록 하기 위하여 별도의 반응제(제1반응제-H2, 제2반응제-H2또는 H원자를 포함하는 화합물)와 플라즈마를 인가함으로써, 양질의 박막을 비교적 저온에서 형성할 수 있다...
아이피에스 관계자는 "이번 발명은 USG를 증착하기 전에 미리 50Å이하의 두께에 유전율 30이하의 얇은 ALD 막을 증착함으로써,보이드 발생을 방지하는 것은 물론, 하지막 의존성을 배제시켜 USG 증착의 속도를 증가시키면서 또한 회로 속도 지연(RC delay)현상이 발생되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다"고 설명했다.
아이피에스는 25일 ALD 박막 증착 방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
아이피에스 관계자는 "이번 발명은 제1피딩->제1퍼지->제2피딩-> 제2퍼지로 구성되는 싸이클을 반복하여 기판 상에 박막을 증착하는ALD 박막 증착 방법에 관한 것으로서, 한 싸이클과 다음 싸이클 사이에 이전 싸이클 동안 유지되는 압력과는다른 압력으로 수행되는...
민후식 연구원은 “‘05~’06년에 걸쳐 정체되었던 외형이 ‘07년에 다시 성장 모멘텀을 찾을수 있을 것으로 기대되며 성장의 주요인은 기존 CVD장비 시장을 대체하는 ALD장비 시장의 빠른 성장으로, 외형의 성장과 더불어 본격적인 해외 시장 진출로 고객 Base 다변화를 통한 매출 변동성 위험의 감소도 기대된다”고 전했다.
이어 “‘06년 매출은 LCD 장비의...
최태이 연구원은 “반도체 장비매출이 LCD장비의 부진함을 메꿔주면서 ‘06년 실적을 바닥으로 ’07년 35%의 높은 성장을 이룰 것으로 예상되며, Nano공정 본격화와 더불어 고난이도 기술이 절실히 요구되고 있는 반도체 장비시장 환경에서 ALD장비의 생산성 및 기술력을 인정받아 해외 장비시장에서 M/S확대가 예상된다”고 전했다.
김익상 연구원은 “반도체 ALD장비의 매출 성장세는 ’06년 1분기부터 본격적으로 진행되고 있는데, 이러한 추세는 '07년에도 지속될 전망이며, 반면, LCD용 PE-CVD장비의 수주시기는 4분기말부터 시작될 것”이라고 전망했다.
이어 “분기별 수익성 개선은 더디게 진행되고 있는데 이는 과거와는 달리 경상개발비를 당기에 전액 비용 처리하고 있기 때문으로...
최태이 연구원은 “최근 주성엔지니어링이 받고 있는 주가수준은 장비업체 중 최고 수준으로 기술력 및 성장잠재력에 대해 시장의 기대치가 반영되고 있다고 판단되며 양산성이 뛰어나 국내.외시장의 긍정적 평가를 받고 있는 Semi-Batch 타입의 ALD장비를 통한 해외장비시장으로 M/S확대 가능성과 이로 인한 성장성을 감안하면 장비업체 최고의 Valuation을...
증착분야의 경우, 회로 선폭이 100nm 이하인 나노급 반도체의 개발이 본격화되면서, 수 Å 단위의 극히 얇은 박막을 증착시키고자 하는 원자층증착기술(ALD) 등 다양한 증착기술이 개발됨에 따라 전년대비 44.8% 증가했다.
에칭분야는 외국인 출원의 증가율이 주춤한 것에 비해, 내국인 출원은 2004년 29.5%, 2005년 23.6%로 2년 연속 가파른 증가세를 보여...