미코, 반도체 전시회서 첨단 세라믹 제조기술 소개

▲사진=미코

소재부품 전문기업 미코는 이날부터 14일까지 서울 코엑스에서 개최되는 국내 최대 반도체산업 전시회 ‘세미콘 코리아 2014(SEMICON Korea 2014)’에 참가해 신규 개발된 국산화 부품 소재를 선보인다고 12일 밝혔다.

세미콘 코리아 2014는 미국·일본·대만·독일 등을 비롯해 전 세계 20개국 500개사가 참가하는 국내 최대 규모의 반도체 전시회로 반도체 산업의 현황과 전망을 제시하는 반도체 장비 재료분야를 대표하는 산업 전시회다. 세미콘 코리아는 제품 홍보 및 바이어 미팅이 이뤄질 뿐만 아니라 신규 비즈니스 창출 및 협력을 위한 실질적인 비즈니스 창구 역할도 같이 하는 것이 특징이다.

미코는 이번 전시회에서 300mm 세라믹 히터(AlN Heater)와 세라믹 정전척(Electro-static Chuck·기판고정 부품) 및 세라믹 기판(Substrate) 등 다양한 국산화 소재부품 전시를 통해 미코의 세라믹 제조 기술의 첨단 기술력을 보여줄 예정이다. 이와 함께 총 30여종의 고 기능성 반도체 공정 장비 재료들도 국내외 바이어들에게 소개할 계획이다.

미코 관계자는 “세미콘 코리아를 통해 국내 최초로 개발한 반도체 PE CVD(플라즈마 화학증착) 공정에 사용되는 세라믹 히터를 선보일 예정”이라며 “이 제품으로 지난해 매출 90억원을 기록했으며, 올해는 200% 성장한 약 200억원의 매출을 달성할 것으로 전망한다”고 밝혔다.

이어 “미코의 계열사인 코미코는 고가의 반도체 및 LCD 제조장비 소모성 부품에 대한 정밀세정·특수코팅·재생기술을 소개할 계획”이라며 “미코에스앤피(SnP)도 웨이퍼 검사시 사용되는 미세피치(40um) 대응용 수직형(Vertical) 프로브카드(Probe Card) 등을 선보일 예정”이라고 덧붙였다.

전선규 미코 대표이사는 “매년 실시하는 세미콘 코리아는 자사의 기업 홍보부터 제품 홍보 및 계약 성사까지 진행이 가능해 반도체산업의 축제로 불린다”며 “세라믹 히터 등 세라믹 제조 기술의 첨단기술력을 바탕으로 한 제품을 통해 향후 신규 거래처 확보와 이를 연계한 매출 향상이 기대된다”고 말했다.

한편 미코는 자사 세라믹 히터 500여대를 공급받은 반도체 장비회사 원익아이피에스(IPS)로부터 11일 우수협력업체 대상을 수상하며 부품 국산화를 통한 원가경쟁력 확보에 기여한 공로를 인정받기도 했다.