참엔지니어링, 기판처리 관련 특허권 취득

입력 2013-01-31 12:46

이미정 기자

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!

북마크 되었습니다.
마이페이지에서 확인하세요.

가장작게
작게
기본
크게
가장크게

참엔지니어링은 기판처리 장치와 관련된 특허권을 취득했다고 31일 공시했다.

회사 측은 “이번 특허 기술로 기판처리 공정 속도를 향상시키며 기판으로 입사 또는 충돌하는 이온 에너지를 조절함으로써 기판 또는 박막에 대한 손상을 줄일 수 있다”면서 “반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화할 수 있을 것”이라고 밝혔다.

#참엔지니어링 #기판처리 #특허권 #참엔지니어링

참엔지니어링(주) (009310)

대표이사: 이경희

이사구성: 이사 3명 / 사외이사 1명

최근공시

[2025.11.27] 타법인주식및출자증권취득결정

[2025.11.25] 유상증자결정(종속회사의주요경영사항)

좋아요0
화나요0
슬퍼요0
추가취재 원해요0

주요 뉴스

쯔양·닥터프렌즈·닥터딩요와 함께하는 국내 최초 계란 축제 '에그테크코리아 2025' 개최

계란 산업 혁신과 미래 트렌드 한 눈에 12월 19~21일 3일간 양재 aT센터에서 국내 계란 식품·산업·웰니스를 아우르는 대형 계란 박람회 '에그테크코리아 2025'(EggTech Korea 2025)가 다음달 19일부터 21일까지 서울 양재 aT센터 제1전시장에서 개최된다. 이번 행사는 ‘계란·미래·K 푸드·웰니스’를 핵심 키워드로, 60개사 100부스가 참여하는 대
하다하다 야쿠자까지…보법 다른 일본 연프 '불량연애' [해시태그]

이것이 진정한 ‘매운맛’이었습니다. ‘연프(연애 프로그램)’ 홍수 속 선택받기 위한 저마다의 ‘도파민’을 내뿜는 중 착륙했죠. 넘치다 못해 흐르는 도파민을 자랑했는데요. 보법부터 다른 그들의 ‘연프’가 비판과 흥분 사이 논란의 한가운데 서 있죠. “연프 맞아?” 넷플릭스 일본 오리지널 연애 리얼리티 ‘불량연애(러브조토/라브죠토·ラヴ上等)’
"빨간 종이통장 기억하시나요?"…126년 세월 담은 '우리1899'

1990년대에 한일은행(현 우리은행)에서 근무했는데 제가 일할 때 보던 통장들이 여기 있네요. 우리은행의 은행사박물관 ‘우리1899’를 15일 찾은 김숙연(55) 씨는 빨간 ‘한일은행 자유저축예금’ 종이통장을 보며 30년 전 추억을 떠올렸다. 대한천일은행, 한일은행, 한국상업은행, 평화은행 등 이름은 다르지만 모두 126년을 이어온 우리은행의 전
제약사 간 지분 교환 확산…자사주 소각 의무화 ‘주주가치 제고’ 취지 무색

정부·여당이 자사주 소각 의무화를 핵심으로 하는 상법 개정을 추진하는 가운데, 일부 제약사들이 자사주를 서로 맞교환하는 방식으로 대응하고 있다. 이에 대해 자사주 소각을 통해 주주가치를 높이겠다는 제도 취지와 달리, 실질적인 주주환원 없이 자사주를 형태만 바꿔 보유하려는 것 아니냐는 지적도 나온다. 15일 제약업계에 따르면 환인
뉴욕증시, AI 경계론에 짓눌린 투심…나스닥 0.59%↓

뉴욕증시가 15일(현지시간) 하락했다. 이날 뉴욕증권거래소(NYSE)에서 다우지수는 전장보다 41.49포인트(0.09%) 내린 4만8416.56에 장을 마감했다. S&P500지수는 전장 대비 10.90포인트(0.16%) 밀린 6816.51에, 나스닥지수는 137.76포인트(0.59%) 떨어진 2만3057.41에 거래를 끝냈다. 미국 주식시장이 사상 최고치 부근에서 등락을 거듭하는 가
단독 사립대 ‘보이지 않는 구조조정’…20년간 47건 대학 통폐합

학령인구 감소라는 거대한 인구구조의 변화 속에 지난 20여 년간 전국 대학에서 총 47건의 통·폐합이 이뤄진 것으로 나타났다. 이 과정에서 부채·재산 정리, 법인 지위 조정, 교원 신분 보장, 학사관리 등 복잡한 쟁점이 반복적으로 드러났지만, 이를 체계적으로 조정할 제도적 장치는 충분하지 않다는 지적이 꾸준히 제기돼 왔다. 최근 대학가
넷플릭스 '흑백요리사2', 오늘(16일) 공개 시간은?

넷플릭스 요리 예능 ‘흑백요리사: 요리 계급 전쟁’ 시즌2가 오늘(16일) 전 세계에 동시 공개된다. 지난해 시즌1이 글로벌 흥행을 기록하며 미식 예능의 새 흐름을 만든 만큼 시즌2 공개를 앞두고 시청자들의 관심도 높아지고 있다. 넷플릭스에 따르면 ‘흑백요리사2’의 공식 공개 시간은 한국 시각 기준 오후 5시다. 넷플릭스는 오리지널 콘텐츠
2026 ‘숨 막히는 기술戰’⋯재계의 시선은 'AIㆍ수익성ㆍ로봇'

삼성, AI 주도권 되찾기로 실적 반등 관건 SK, HBM 독주로 지속 가능성 시험대 현대차, SDV·자율주행 중심 전환 가속 LG, AI 시대 LG만의 정체성 요구 올해 재계를 짓눌렀던 최대 리스크는 ‘관세와 통상’이었다. 급변하는 글로벌 무역 환경에 기업들은 공격 대신 방어적 기조를 유지할 수밖에 없었다. 그러나 내년에는 판이 바뀐다. 통상 변수의