참엔지니어링, 기판처리 관련 특허권 취득

입력 2013-01-31 12:46

이미정 기자

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!

북마크 되었습니다.
마이페이지에서 확인하세요.

가장작게
작게
기본
크게
가장크게

참엔지니어링은 기판처리 장치와 관련된 특허권을 취득했다고 31일 공시했다.

회사 측은 “이번 특허 기술로 기판처리 공정 속도를 향상시키며 기판으로 입사 또는 충돌하는 이온 에너지를 조절함으로써 기판 또는 박막에 대한 손상을 줄일 수 있다”면서 “반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화할 수 있을 것”이라고 밝혔다.

#참엔지니어링 #기판처리 #특허권 #참엔지니어링

좋아요0
화나요0
슬퍼요0
추가취재 원해요0

주요 뉴스

트럼프 “호르무즈 통행료 받으려면 미국이 받아야”

60일 무상 통항 합의 뒤 통행료 부과 여부 놓고 충돌 트럼프 “이란 징수 불가”…협상 결렬 땐 미국 징수 주장 세계 원유 수송 요충지 놓고 미·이란 신경전 고조 도널드 트럼프 미국 대통령이 세계 원유 수송의 핵심 통로인 호르무즈 해협 통행료 문제를 둘러싸고 이란에 강경한 입장을 내놓으며 양국 협상의 새로운 쟁점이 부상했다. 미국과 이란
정비사업도 모자라 LH 민참까지⋯대형사 공세에 설 자리 잃는 중견 건설사

대형사 공공주택 시장 공략 본격화"중소·중견, 성장 사다리 약화 우려" 부동산 경기 침체가 장기화하면서 중견 건설사들의 입지가 갈수록 좁아지고 있다. 도시정비사업 수주전이 대형 건설사 중심으로 재편된 데 이어 그동안 중견사들의 주 무대였던 한국토지주택공사(LH) 민간참여 공공주택사업(민참사업)에도 대형사들이 잇따라 뛰어들고 있어
단독 한국투자증권, 1분기 증권사 전산장애 사고금액 1위⋯‘8억 배상’하고도 또 사고

증시 활황 속에 국내 주요 증권사들의 전산장애가 잇따르는 가운데, 올해 1분기 전산사고로 인한 피해 금액이 가장 컸던 곳은 한국투자증권으로 나타났다. 21일 본지가 윤한홍 국민의힘 의원실이 금융감독원으로부터 제출받은 자료를 분석한 결과 1분기 주요 증권사 13곳 가운데 한국투자증권의 사고 배상액이 가장 많았다. 한국투자증권이 배상
소득보다 자산…한국 사회 불평등 구조 바뀌었다

자산 기여도 40%로 확대…소득과 격차 벌어져 Z세대 불평등 원인 절반 이상이 자산 격차 소득보다 자산이 한국 사회 불평등을 결정하는 핵심 요인으로 떠오른 것으로 나타났다. 자산 불평등의 영향력이 소득을 처음으로 넘어선 데다 Z세대에서는 전체 불평등의 절반 이상이 자산 격차에서 비롯된 것으로 분석됐다. 21일 국회입법조사처가 계봉오
코스피 9000 시대 열리자…국내 주식형 ETF 비중 첫 50% 돌파

코스피가 사상 처음 9000선을 돌파하면서 국내 주식형 상장지수펀드(ETF) 시장도 빠르게 몸집을 불리고 있다. 국내 ETF 전체 순자산에서 국내 주식형이 차지하는 비중은 50%를 넘어섰다. 해외 주식형과 채권형으로 향하던 자금의 무게중심이 국내 증시 랠리를 타고 국내 주식형 ETF로 빠르게 이동한 모습이다. 21일 금융정보업체 에프앤가이드에
동전주 퇴출’ 7월부터 본격화…219개 종목 상폐 위기

주가 1000원 미만의 이른바 ‘동전주’ 퇴출 시계가 빨라지고 있다. 다음 달부터 주가 미달 요건이 상장폐지 기준에 포함되면서 국내 증시 상장사 219곳이 잠재적 위험군에 올랐다. 이들 종목의 시가총액만 8조원을 웃돌아 4분기부터는 시장 퇴출 종목이 급증할 수 있다는 우려가 나온다. 21일 한국거래소에 따르면 19일 기준 국내 증시 상장사 가
"청년도약계좌 갈아타도 될까"…청년미래적금 가입 전 체크포인트[Q&A]

청년층 자산 형성을 돕는 정책 금융상품 ‘청년미래적금’이 22일 출시된다. 월 최대 50만원을 3년간 납입하면 정부기여금과 비과세 혜택을 더해 2000만원대 목돈을 마련할 수 있어 가입 전부터 관심이 커지고 있다. 다만 가입 대상과 신청 일정, 첫 주 5부제, 청년도약계좌 갈아타기 순서 등을 미리 확인해야 한다. 특히 소상공인으로 가입하려는
미국 반도체 규제 엇박자…삼성·SK 중국공장 불확실성 커진다

트럼프 행정부는 일부 완화, 의회는 추가 강화 추진 KIEP "극단적 통제 땐 한국 기업 생산 차질·공급망 불안 우려" 미국의 대중(對中) 반도체 수출통제를 둘러싸고 트럼프 2기 행정부와 의회 간 온도 차가 나타나면서 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 업계의 불확실성이 커지고 있다는 분석이 나왔다. 21일 김혁중 대외경제정책연구원(KIE