기판처리 검색결과

검색결과 총71건

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日 코쿠사이 엘렉트릭, 반도체 장비 제조기업 유진테크 제소

일본의 첨단 반도체 장비 제조기업인 주식회사 코쿠사이 엘렉트릭은 한국 자회사 국제엘렉트릭코리아와 함께 유진테크를 상대로 한국의 서울중앙지방법원에 특허권 침해소송을 제기했다고 5일 밝혔다. 이번 특허권 침해소송에는 기판처리장치 등에 관한 4건의 코쿠사이 엘렉트릭 그룹 특허기술이 포함됐다. 해당 특허권은 2011년부터 2022년까지 한국만이 아니라 미국,

2024-02-05 09:49
[전일 주요 공시] 엔지켐생명과학ㆍ한섬 등

△엔지켐생명과학, 코로나19 치료제 임상2상 시험 승인 △효성첨단소재, 베트남 계열사에 121억 출자 △바이오빌, 정리매매 보류 △안다인베스트먼트파트너스, 한프 파산 신청 △[조회공시] 플레이디, 현저한 시황변동 관련 △테스, 기판처리장치 특허 취득 △비츠로시스, 최대주주 지분 전량 소각 △코아시아, 110억 규모 EB 납입 완료… “파운드

2020-05-13 08:05
테스, 기판처리장치 특허 취득

테스는 12일 기판처리장치 국내 특허를 취득했다고 공시했다. 테스는 “해당 특허에 따른 기판처리장치는 챔버의 외측을 향해 복수의 오링을 순차적으로 배치하고, 복수의 오링들 사이에 별도의 버퍼공간을 마련한다”며 “이러한 버퍼공간에 미리 설정된 압력의 보호유체를 공급함으로써, 오링에 작용하는 압력을 줄여 오링의 손상 및 파손을 방지하고 오링의 수명을 늘릴

2020-05-12 16:03
테스, 가스공급유닛 관련 특허 취득

테스는 가스공급유닛 관련 특허권을 취득했다고 7일 공시했다. 회사 측은 "대면적 기판에 대한 각종 처리공정을 수행하는 기판처리장치에 있어서 처리모드에 따라 기판처리장치의 내부로 각종 가스를 공급하는 경우에 가스를 균일하게 기판처리장치의 내부에서 분산시킬 수 있는 가스공급유닛에 대한 것"이라고 밝혔다.

2020-05-07 17:45
[전일 주요 공시] 동양네트웍스ㆍGS건설ㆍ대한항공 등

△ 동양네트웍스, 유안타증권과 80억원 규모 계약 체결 △ 한솔피엔에스, 주당 25원 현금배당 △ GS, 주당 1900원 현금 배당 결정 △ BNK금융지주, 주당 360원 현금 배당 △ 티웨이항공, 지난해 매출 8104억원…전년比 10.7%↑ △ 현대해상, 주당 880원 현금 배당 △ KB금융, 주당 2210원 현금배당 결정 △ GS

2020-02-07 08:10
테스, 박막증착 및 기판처리 장치 관련 특허 취득

테스는 박막증착장치와 기판처리장치에 관련된 특허를 각각 취득했다고 6일 공시했다. 회사 측은 향후 활용계획에 대해 "장비 제조시 특허기술 적용을 통해 제품경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.

2020-02-06 16:46
테스, 리프트판 유닛 관련 특허 취득

테스는 리프트판 유닛의 이동방법 및 기판처리장치 관련 특허를 취득했다고 3일 공시했다. 회사 측은 "기판의 하면 또는 상면에 박막을 증착하는 경우에 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 리프트핀유닛의 이동을 위한 홀을 기판의 하부에 형성하지 않게 돼 리프트핀 홀로 인한 홀마크 또는 데드존이 기판의 하면 또는 상면에 발생하는 것을 방지하는 것을 목적으로 한다"고 설

2019-12-03 16:05
테스, 반도체 기판검사방법 등 특허 취득

테스는 반도체에 적용되는 기판검사방법 및 기판처리장치에 관한 특허를 취득했다고 13일 공시했다. 특허 활용 계획에 대해 "장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화"라고 밝혔다.

2019-06-13 13:51
테스, OLED 장비 적용 기판처리장치 특허 취득

테스는 기판처리장치 관련 특허권을 취득했다고 28일 공시했다. 이 특허는 디스플레이(OLED) 장비에 적용되는 기술이다.

2017-12-28 12:14
[SP] 21일 주가에 영향을 미칠 만한 전일 주요 공시

코웨이, 700억원 규모 자사주 취득 신탁계약 체결 코웨이, 보통주 74만4283주 소각결정 [조회공시]현대백화점, SK네트웍스 패션사업부문 영업양수 관련 [조회공시]SK네트웍스, 현대백화점에 패션사업부문 매각 관련 청호컴넷, 77억원 규모 공급계약 체결 아이카이스트랩, SKT와 54억8143만원 규모 계약 체결 하이골드2호, ‘한진 리버풀호’

2016-09-21 09:00
테스, 기판 처리 장치 관련 특허 취득

테스는 기판 처리 장치 관련 특허를 취득했다고 20일 공시했다. 회사 측은 “반도체 장비에 적용되는 기술”이라며 “기판 처리시에 로봇의 직선 운동 과정에서 발생하는 흔들림에 따라 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있다”고 설명했다.

2016-09-20 14:56
[SP] 10일 주가에 영향 미칠만한 전일 공시

△KEC, 전환가액 1368원→1090원 하향 조정 △현대건설, 4488억 규모 파주신도시 신축공사 수주 계약 △삼호개발, 159억 규모 고속도로 토구조물공사 계약 체결 △KC그린홀딩스, 지분매도로 KC그린에너지 자회사 탈퇴 △한전산업, 한국동서발전과 206억원 규모 용역 계약 체결 △보락, 100억원 규모 신규시설투자 △아시아퍼시픽13호, 선박

2015-09-10 09:10
테스, 대면적 기판처리 장치 관련 특허권 취득

테스는 대면적 기판처리 장치 관련 특허권을 취득했다고 9일 공시했다. 회사측은 "상기 특허는 대면적 PECVD 장비에 적용되는 기술로 반응가스를 분사하여 처리하는 디퓨져와 샤워 헤드를 일대일로 대응하여 반응가스를 균일하게 분사할 수 있다"며 "샤워 헤드들의 열팽창 비율을 감소시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다"고 밝혔다.

2015-09-09 15:49
[SP]주가에 영향 미칠만한 전일 공시

△현대중공업, 3분기 영업손실 1조9346억...적자전환 △현대미포조선, 3분기 영업손실 6063억...적자폭 확대 △두산, 3분기 영업익 2067억...전년비 16%↓ △휴비츠, 3분기 영업익 130억...전년비 11.5%↑ △[조회공시]삼환기업, 현저한 시황변동 △성우전자, 신주인수권 행사가 4397원→3874원 △잘만테크, 31억 규모 대

2014-10-31 09:00
참엔지니어링, 기판처리장치 특허권 취득

참엔지니어링은 30일 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다. 회사측은 "챔버 스테이지부의 수평도를 외부에서 조절해 기판의 오염 및 불량을 감소시키는 기술에 관한 것"이라며 "특허를 활용해 기판의 수율을 증가시킬 계획"이라고 설명했다.

2014-10-30 13:15
[SP]주가에 영향 미칠만한 전일 공시

△KG이니시스, KG옐로우캡 흡수합병 결정 △코데즈컴바인, 최대주주 지분매각 추진설 △덕신하우징, 데크플레이트 관련 특허 취득 △에스씨디, 드라이버 일체형 모터 특허 취득 △코센, 70억원 규모 전환사채 발행 결정 △삼기오토모티브, 1338억원 규모 폭스바겐 DCT V/Body 공급 계약 체결 △포티스, 마스터 앱 관련 특허 취득 △큐브스, 20만주 신주인

2014-10-15 09:00
테스, 기판처리방법 특허 취득

테스는 기판처리방법과 관련한 특허권을 취득했다고 14일 공시했다. 회사 측은 “특허 기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화가 목적”이라고 밝혔다.

2014-10-14 16:47
테스, 박막증착장치 특허권 취득

테스는 7일 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다. 회사 측은 "이번 특허는 디스플레이 장비에 적용되는 기술로, 여러 개의 기판을 동시에 이동시키면서 복수개의 가스공급부에 의해 가스를 공급함으로써 기판 처리량을 향상시킬 수 있다"고 밝혔다.

2014-10-07 16:28
[SP]주가에 영향 미칠만한 전일 공시

△삼성전자 “삼성메디슨과 합병 검토 중” △우리들제약, 보통주 7000만주 감자 △이필름, 종속회사 이화파트너스 80% 무상감자 △씨케이에이치, 4~6월 영업익 187억… 전년비 17% ↓ △테스, 기판처리방법 특허권 취득 △피앤텔, 휴메릭 보통주 40만주 무상감자 △동성화인텍, 157억 규모 공급 계약 △SK, SK C&C와의 합병설 부인 △JW중외

2014-09-03 09:00
테스, 기판처리방법 특허권 취득

테스는 기판처리방법과 관련한 특허권을 취득했다고 2일 공시했다. 회사 측은 특허 기술 적용을 통해 제품 경쟁력을 강화할 것이라고 밝혔다.

2014-09-02 15:09

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