에이디피, 평판표시소자 제조장치 공정챔버 관련 특허취득

입력 2006-10-26 10:40

박인혜 기자

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에이디피엔지니어링은 26일 내측벽에 냉온순환로가 형성된 평판표시소자 제조장치의 공정챔버과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

에이디피엔지니어링 관계자는 "이번발명은 공정챔버의 벽체중 특정 벽체의 온도를 개별적으로 조절이 가능한 특징이 있다"고 설명했다.

인베니아(주) (079950)

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