에이루트, 자회사 앤에스알시 흡수합병…반도체 노광장비 사업 내재화

입력 2026-10-27 09:15

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잔여 지분 30% 취득 완료 후 1대 0 무증자 합병…내년 1월 1일 합병 기일
i-line·KrF 이어 ArF로 장비군 확장…AI 데이터센터 전력반도체 수요 선점

▲에이루트 CI. (사진제공=에이루트)
▲에이루트 CI. (사진제공=에이루트)

에이루트가 반도체 노광장비 전문 자회사 앤에스알시를 흡수합병하며 반도체 장비 사업의 직접 운영 체제로 전환한다. 100% 자회사 편입 후 무증자 합병을 통해 지배구조를 일원화하고, 글로벌 인공지능(AI) 데이터센터 밸류체인 진입에 발맞춰 고부가가치 노광장비 수주와 연구개발(R&D)을 상장사가 직접 진두지휘한다는 구상이다.

에이루트는 이사회 결의를 통해 자회사 앤에스알시의 잔여 지분 30%를 인수해 지분 100%를 확보한 뒤, 소규모 흡수합병을 진행하기로 했다고 27일 밝혔다.

이번 합병은 신주를 발행하지 않는 1대 0 무증자 합병 방식으로 진행된다. 이에 따라 합병 이후에도 에이루트의 최대주주 지분 변동이나 주식 가치 희석은 발생하지 않는다. 합병기일은 2027년 1월 1일이다.

에이루트는 이번 합병을 기점으로 앤에스알시의 장비 엔지니어링 역량을 본원 사업으로 내재화한다. 기존 자회사 체제에서 개별적으로 이뤄지던 기술 개발과 영업 활동을 모회사의 자본력과 결합해 단일 경영 체제로 재편하고, 상장사가 직접 R&D 투자 확대와 글로벌 칩메이커 대상 수주 영업을 주도해 사업 경쟁력을 극대화한다는 전략이다.

앤에스알시는 기술적 진입 장벽이 높은 반도체 노광장비 리퍼비시(Refurbish·재생 및 개조) 시장에서 독자적인 경쟁력을 구축해 왔다. 최근에는 대만 주요 반도체기업향 전력반도체 생산라인용 노광장비 수주에 성공하며 글로벌 AI 데이터센터 공급망에 진입했다.

취급 장비 포트폴리오도 다변화하고 있다. 기존 레거시 공정 중심의 아이라인(i-line)과 불화크립톤(KrF) 장비에 이어 첨단 미세공정에 필수적인 불화아르곤(ArF) 노광장비까지 제품 라인업을 넓혔다. 또 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 대표 반도체 기업 출신의 전문 엔지니어를 지속 영입해 토털 노광장비 솔루션 역량을 강화하고 있다.

에이루트는 합병 절차가 마무리되는 대로 반도체 장비 부문에 대한 투자를 늘려 고부가가치 노광장비 시장 지배력을 넓힐 계획이다. 특히 빅테크의 AI 인프라 확장에 따라 서버 전력 효율을 좌우하는 전력반도체 수요가 급증하고 있는 만큼, 확보된 대만 레퍼런스를 바탕으로 추가 수주 계약을 끌어낸다는 방침이다.

에이루트 관계자는 “앤에스알시의 글로벌 수주 성과와 기술 경쟁력이 가시화되는 시점에 사업 구조 내재화 및 상장사 주도로 반도체 사업을 주도하고자 합병을 결정했다”며 “합병 이후 적극적인 R&D와 글로벌 고객사 수주 성과를 확보하고 기업가치를 제고하겠다”고 밝혔다.

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