수공, SK하이닉스에 '반도체 생명수' 11월 첫 공급…국가R&D 착수 4년만

▲한국수자원공사 관계자가 SK실트론 구미 2공장에 위치한 초순수 국산화 실증 플랜트 현장에서 전기탈이온공정을 점검하고 있다. (한국수자원공사)

한국수자원공사가 국내 기술로 생산된 초순수(Ultrapure Water)를 다음달부터 SK하이닉스에 공급한다.

25일 관계기관 등에 따르면 수자원공사는 SK하이닉스가 충북 청주에 건설 중인 신규 D램(데이터 저장용 메모리반도체) 공장 M15X 가동 시기에 맞춰 11월부터 초순수 공급을 시작한다.

이는 정부가 앞서 2020년부터 추진한 '고순도 공업용수 국산화 기술개발' 국가 연구개발(R&D)과제 성과를 상용화하는 첫 사례다. 정부는 2021년 K-반도체 전략을 수립해 '초순수 자립화'를 포함했고 수자원공사는 2021년부터 올해까지 과제 전담 기관으로 참여해 설계·시공·운영기술 100%, 핵심장비 70% 국산화를 달성했다.

지난해 12월에는 국산 초순수를 SK실트론 구미2공장 반도체 웨이퍼 양산에 적용하면서 상용화에 한 발짝 더 다가갔다. 이재명 정부 5개년 계획에도 '안정적인 초순수 공급체계 구축'이 반영돼 지속적인 정책적 지원도 기대된다.

SK하이닉스에 대한 이번 수자원공사의 국산 초순수 공급은 국내 초순수 시장의 국내기업 첫 진입이라는 의미도 있다.

최종 생산까지 30개 공정을 거쳐야 하는 초순수는 물 속 유기물·이온 등을 제거한 순수에 가장 가까운 물로, 나노미터(nm·1nm=10억분의 1m) 단위의 첨단 공정이 필요한 고급 반도체 세척에 쓰여 '반도체 생명수'라고도 불린다. 하지만 초순수는 기술 장벽이 높아 그간 일본·미국 등 해외기업이 사실상 국내 점유율을 독식해왔다.

앞서 수자원공사는 2023년 SK하이닉스와 '초순수 국산화 및 민간 물공급 지원을 위한 상생협력 협약(MOU)'을 체결한 데 이어 지난해 기본협약을 통해 단계적 사업 확대 방안을 마련했다. 이후 올해 3월 'SK하이닉스 M15X 초순수 시설 운영관리 사업 실시협약'을 체결하며 국내기업 최초로 초순수 운영사업에 진출했다.

수자원공사는 이번 사업을 시작으로 향후 용인 반도체 클러스터까지 사업을 확대해 원수, 정수, 초순수, 재이용수에 이르는 다양한 물공급 체계를 구축할 예정이다.

특히 하천이나 댐 호소 등에서 취수한 원수를 공업용수 수준으로 가공한 정수, 그리고 반도체 공정에 적합한 초순수로 다시 재가공하는 단계에서 나아가 발생하는 하수나 폐수를 재처리해 활용하며 물 자원 효율성을 높이겠다는 계획이다.

윤석대 수자원공사 사장은 "글로벌 공급망 불확실성이 커지고 기술 주권이 국가안보까지 좌우하는 지금 첨단산업을 움직이는 핵심 자원인 초순수의 국산 기술 상용화는 의미 있는 성과"라며 "우리 기업들이 첨단산업 경쟁에서 한발 앞서 나갈 수 있게 정부와 민간과 협력해 초순수 생태계를 강화하겠다"고 밝혔다.