젬백스, 세계 최대 파운드리 업체 TSMC에 양산설비 필터 수주

▲젬백스앤카엘 CI. (제공=젬백스앤카엘)

8일 대만의 반도체 파운드리(위탁생산) 기업인 TSMC의 요구로 불화아르곤(ArF) 스피너용 케미컬 에어(CA) 필터를 수주했다고 밝혔다.

앞서 지난달 9일 젬백스는 TSMC가 신규로 설치한 일본 TEL사의 최신식 EUV 스피너용 장비에 적용될 필터를 테스트하기 위해 시제품을 단독 납품했다.

젬백스는 시제품 테스트와는 별개로 타이난시의 F14 양산형 팹(Fab)에서 가동 중인 기존 불화아르곤용 장비에 유상으로 공급한다는 데 의미가 있다고 설명했다.

TSMC는 신주시의 실험센터 F12를 포함해 타이난시에 F14와 F18, 타이중시에 F15 등 총 4기의 팹에서 300mm 웨이퍼 팹을 가동하고 있다. 젬백스는 시제품을 포함해 2개의 팹에 납품할 예정이다. 현재 신주시 실험센터에서 진행 중인 테스트가 성공적으로 마무리되면 타이난시의 양산형 팹 F18로 공급을 확대할 것으로 보인다.

젬백스 관계자는 “이번 납품을 시작으로 TSMC의 모든 300mm 웨이퍼 팹의 장비용 필터로 영역을 확대하고, 장기적으로는 시설용 필터까지 납품하는 것을 목표로 TSMC와의 신뢰관계를 형성하고자 한다”고 밝혔다.