SK하이닉스 "식각 공정 스크러버, 온실가스 처리 효율 99%"

▲SK하이닉스 이천 본사 전경 (박민웅 기자 pmw7001@)

SK하이닉스가 국내 사업장의 식각 공정에 쓰이는 '스크러버'의 온실가스 처리 효율을 99%까지 끌어올릴 수 있는 신기술 개발에 성공했다고 9일 밝혔다.

스크러버는 생산 과정에서 발생하는 부산물을 제거하는 장비다. 다양한 화학 물질이 쓰이는 반도체 공정에서 유해 물질을 정제하고 안전하게 처리한다.

'처리 효율 99%'라는 수치는 온실가스 배출량이 계측기가 측정할 수 있는 최소량 이하로 검출됐다는 의미로, 사실상 배출이 거의 없다는 뜻이다.

이번 성과는 SK하이닉스 탄소관리위원회(탄관위) 12개 분과 중 고효율·저전력 스크러버 도입 분과가 이끌었다.

기존 스크러버에 물을 주입하고 가변출력시스템을 도입해 효율을 개선하고, 신규 베이(Bay)형 스크러버를 개발하는 방식으로 이뤄졌다.

베이형 스크러버는 온실가스 처리에 필요한 장비 대수를 줄여 전력 사용량과 관리·운영비를 줄이며, 내년 새로운 팹 M15X 오픈에 맞춰 도입될 예정이다.

이번에 개선한 기존 스크러버와 도입 예정인 신규 스크러버는 모두 온난화 유발 효과가 큰 과불화화합물을 분해하는 장비다.

이성수 SK하이닉스 탄관위 스크러버 도입 분과 TL은 "1%의 효율 차이에도 온난화에 끼치는 영향이 달라지는 과불화화합물을 99% 수준의 고효율로 제거할 수 있다는 점에서 이번 성과의 가치는 매우 크다"며 "온실가스 직간접 배출량을 줄여 효과적인 방식으로 '넷제로 2050' 목표에 기여했다"고 말했다.