“에프에스티, 삼성전자 내 펠리클 시장점유율 80% 보유…EUV 장비 공급”

입력 2023-11-03 09:10

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CTT리서치는 3일 에프에스티에 대해 삼성전자 내 펠리클 시장점유율(M/S) 80%라는 압도적인 숫자를 유지하고 있으며, EUV 펠리클 개발을 위해 전략적인 협력을 지속 중으로 내년 3분기부터 본격적인 양산이 시작될 것으로 전망했다.

에프에스티는 반도체와 디스플레이 노광 공정에서 마스크를 보호하기 위한 펠리클, 식각, 에칭, 증착 등의 온도를 일정하게 유지해주는 칠러 장비 생산을 주력으로 한다. 매출 비중은 펠리클 44.3%, 칠러장비 55.7%로 나뉜다. 펠리클 내에서 반도체와 디스플레이 비중은 7:3 수준이다.

전날 에프에스티는 펠리클 신규시설투자를 공시했다. 총 투자 규모는 330억 원으로 펠리클로 환산하면 12~15만 장 규모이다. CTT리서치는 "이번 공시를 통해 증설하는 펠리클 투자 규모는 기존 CAPA 의 최대 50%에 달하는 수준으로 그 규모가 상당함을 알 수 있다"고 설명했다.

이어 "이는 그동안 부진했던 반도체 업황이 2024년부터 돌아서며 국내 고객사의 수요 확대와 미국 테일러 공장 가동 및 최근 들어 빠르게 증가하고 있는 중화권 고객사 수요까지 대응하기 위해 선제적으로 투자를 단행한 것"으로 판단했다.

이에 따라 펠리클 부문의 실적이 성장할 것으로 보며, 최악의 반도체 업황에서 투자를 단행하는 이면에는 고객사의 요청이 있었다고 추정했다. 현재 에프에스티의 최대 고객사는 삼성전자이고 2021년 3월 지분투자를 단행해 현재 7%의 지분을 보유하고 있다.

지난 7월에는 고객사에 EUV 펠리클 탈부착장비(EPMD)와 EUV 펠리클 검사장비(EPIS)를 공급했다. 여기에 이르면 연내 관계기업 이솔이 개발한 EUV 마스크 리뷰장비(SREM)를 최종 매출로 인식할 것으로 예상된다.

CTT리서치는 "SREM 장비는 독일의 칼자이스(Carl Zeiss)가 사실상 독점하고 있는 장비로 매출화가 확정되면 고객사의 EUV 공정 본격 양산에 앞서 외산 장비의 독점을 깨고 국산화를 성공하게 되는 것으로 그 의미가 상당할 것"이라며 "향후 EUV 공정 양산이 본격화되면 큰 폭의 장비 수주로 이어질 것"으로 전망했다.


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