반도체산업 생명수 '초순수' 국산화 속도…수자원공사ㆍ한성크린텍 등 시운전 돌입

올해 1200톤 실증플랜트 구축...2025년 1단계 완료

▲한화진 환경부장관이 지난해 7월 26일 경북 구미시 소재 SK실트론을 방문해 반도체 웨이퍼 제조용 초순수 생산 국산화를 위한 실증플랜트 구축현황을 점검하고 있는 모습 (사진제공=환경부)

반도체산업의 생명수로 불리는 '초순수'의 국산화 작업이 속도를 내고 있다. 정부는 2025년까지 수질 및 성능 검증을 거쳐 초순수 국산화 1단계를 완료한다는 계획이다.

한화진 환경부 장관은 1일 경북 구미시에 있는 초순수 생산공정 국산화 연구개발 현장인 에스케이(SK)실트론 구미2공장을 찾아 진행 상황을 점검했다.

이번 방문은 그간 해외 기술에 의존했던 '초순수' 기술개발 상황을 점검하고 물 산업의 육성과 수출을 독려하기 위해 마련됐으며 윤석열 대통령도 참석했다.

초순수는 반도체 제조공정 중 각종 오염물을 제거하는 데 사용되는 물로 순도 100%에 가깝게 전해질, 미생물, 미립자 등을 완전히 제거한 초고순도의 물이다. 반도체를 제조할 때 반드시 필요해 반도체 산업의 생명수로 불린다.

초순수 해외시장 규모는 2020년 19조5000억 원에서 2024년 23조4000억 원으로 지속해서 성장하고 있다. 그러나 반도체 강국인 우리나라에선 그동안 초순수 생산을 미국, 일본 등 해외기업에 의존해 왔다.

이에 환경부는 반도체 산업의 초격차 달성 지원과 경제 안보 확보를 위해 2021년부터 초순수 생산기술 국산화를 추진 중이다.

1단계로 2025년까지 450억 원을 투입해 초순수 생산 플랜트의 설계, 시공, 운영 기술뿐만 아니라 핵심 장치 3종인 △탈기막(용존산소 제거) △자외선-산화장치(유기물 제거) △이온교환수지(금속이온제거)를 국산화할 계획이다.

초순수 국산화 1단계는 한국수자원공사. 한성크린텍 등 21개 민관기관에서 지난해부터 추진한 국산 설계 및 시공 기술로 하루 1200톤 생산 규모의 실증플랜트를 SK실트론 공장 부지에 구축해 현재 시운전 중이다. 시운전 결과 수질 검증이 완료되면 실 수요처인 SK실트론에 초순수가 공급될 예정이다.

환경부는 올해 1200톤 규모의 실증플랜트를 추가로 구축하고, 2025년까지 수질 및 성능검증 등을 거쳐 초순수 국산화 1단계를 완료할 예정이다.

초순수 국산화 2단계는 초순수 수질분석, 기술개발, 실증‧검증 및 교육시설 등이 집적화된 플랫폼센터를 2030년까지 조성할 계획이다.

이를 통해 초순수 생산기술이 단기간에 고도화되고 관련 소재·부품·장비 개발과 강소기업이 육성되면 해외 진출 기반도 마련될 것으로 기대된다.

이와 함께 환경부는 초순수 분야 미래 고급 인력 양성 등 인적 기반 구축을 위해 교육부와 손잡고 올해 대학교 1곳에 초순수 교육과정 개설을 추진할 계획이다.

한 장관은 "초순수 분야는 그간 미국, 일본 등 일부 국가에 의존해 왔던 기술로 반도체 산업 경쟁력을 위해 국산화는 시급한 과제"라며 "앞으로 초순수 국산화에 이어 국내 물 산업의 전반적인 수준을 높여 새로운 부가가치를 창출하는 등 해외시장 진출 확대에 최선을 다하겠다"라고 말했다.