SK머티리얼즈, 불화수소 국산화 착수…연말 샘플 생산 목표

(사진제공=SK머티리얼즈)

SK그룹 계열사 SK머티리얼즈가 일본이 수출 규제 품목으로 지정한 고순도 불화수소(HF·에칭가스) 국산화에 나선다.

26일 업계에 따르면 SK머티리얼즈는 설비투자를 통해 올해 말까지 에칭가스 샘플을 생산하는 것을 목표로 하고 있다. SK머티리얼즈는 반도체 공정용 특수가스를 제조하고 있다.

회사는 샘플을 생산해 검증을 완료하면 본격적인 양산을 통해 반도체 업체에 불화수소를 납품한다는 계획이다.

SK머티리얼즈는 자사가 생산하는 삼화불화질소에 불화수소를 원료로 사용해왔는데, 기술적으로 이를 국산화할 수 있을 것으로 판단한 것으로 전해졌다.

일본이 규제한 수출 품목은 반도체 핵심 소재인 플루오린 폴리이미드, 에칭가스, 레지스트 등 3개다. 일본의 폴리이미드와 레지스트 글로벌 시장 점유율은 90%를 넘고, 에칭가스는 70%를 웃돈다.

국내 반도체 회사에서 사용하는 고순도 불화수소는 순도 99.9999999999%(9가 12개)의 제품으로 대체하기가 쉽지 않고, 제품을 바꾸려면 최소 약 3개월의 테스트 기간이 필요한 것으로 알려졌다.

삼성전자와 SK하이닉스는 고순도 불화수소 수급에 주력하고 있다. 최태원 SK 회장은 최근 “국산 불화수소는 순도 면에서 품질이 떨어진다”고 솔직하게 말하며, 해법 찾기가 쉽지 않음을 토로했다.

LG디스플레이는 최근 일본산 불화수소를 대신해 국내 제품을 사용하기로 한 것으로 알려졌다.