케이맥, 세계 최초 반도체 극초박막 분석기 시연회 개최

검사 및 분석장비 전문업체 케이맥 세계 최초 반도체 극초박막 분석기기를 공개했다.

케이맥은 지난 3일 대전광역시 대덕테크노밸리 본사에서 세계 최초의 반도체 극초박막 분석기기 'Nano-MEIS' 개발 완료 시연회를 개최했다.

▲케이맥의 반도체 극초박막 분석기기 Nano-MEIS.

Nano-MEIS는 케이맥이 지난 5년간 반도체 시장 진입을 위해 개발해온 반도체 공정용 초정밀 분석기기로 기존 분석 방식을 한계를 극복하고 세계 최초로 상용화에 성공한 제품이다.

이날 시연회에서 Nano-MEIS는 세계적으로 일부 연구용으로만 쓰이던 고성능 첨단기기를 반도체 웨이퍼의 테스트 패턴 분석에도 사용할 수 있도록 한단계 발전시켜 반도체 표면 분석의 새로운 지평을 열게됐다는 평을 받았다.

참석자들은 제품의 분석시간 단축, 기기 소형화, 측정의 정확성이란 성과를 한번에 이뤄냈다는 점도 높이 평가했다.

그동안 반도체 및 바이오 분석 또는 물질의 성분을 분석하기 위서는 TEM(transmission electron microscope)이나 SEM(Scanning Electron Microscope) 등의 분석기기를 이용해왔다.

그러나 최근 미세영역이 수 나노(Nano)까지 앏야 지면서 이들 장비로는 측정이 불가능하거나 측정이 매우 불편한 어려움이 있었다.

Nano-MEIS는 MEIS(Medium Energy Ion Scattering Spectroscopy, 중에너지 이온산란분석) 기술을 이용해 원자층의 두께까지 측정할 수 있다. 분석기간은 기존 장비의 95%까지 단축시켰다. 기존 장비는 분석에 12시간 이상이 걸렸지만 Nano-MEIS의 분석시간은 30분 이내다.

이에 따라 공정에 직접 적용(In Line화)까지 가능해 반도체 공정의 수율 향상에 크게 기여할 것으로 기대된다.

이중환 케이맥 대표이사는 "Nano-MEIS의 개발은 케이맥이 반도체 시장에 진입한다는 의미외에도 우리 기술로 세계 최고, 세계 최초의 과학기기를 만들어냈다는 데 자부심이 크다"며 "우리나라가 글로벌 반도체 산업을 지속적으로 선도해 나가는데 힘을 보탠다는 신념이 만들어 낸 성과라고 생각한다"고 말했다.