[공시]원익IPS, 웨이퍼 센터링 특허권 취득

입력 2011-06-02 10:37

박선현 기자

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원익아이피에스는 2일 웨이퍼 센터링 방법에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

이는 반도체 제조 장치에 있어서 진공 상태의 이송 챔버 내부에서 웨이퍼를 공정 챔버로 이송 시킬때 웨이퍼의 중심점을 맞추기 위한 방법이다.

(주)원익홀딩스 (030530)

대표이사: 조남성, 장성대 (각자대표이사)

이사구성: 이사 8명 / 사외이사 3명

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