에이루트 자회사, 中 대형 반도체 기업 노광장비 셋업 진행…현지 설비투자 수요 대응

현지 설비 투자ㆍ기술 자립 드라이브 속 리퍼비시 장비 수요 급증
모회사 에이루트, 앤에스알시 흡수합병으로 반도체 장비 사업 내재화

에이루트의 반도체 장비 자회사 앤에스알시(NSRC)가 중국 대형 반도체 제조기업의 생산라인에 노광장비 셋업을 본격화하며 현지 설비투자 수요 대응에 나섰다.

앤에스알시는 중국 대형 반도체 제조사 A사의 현지 생산공장(팹)에 투입되는 ArF(불화아르곤) 노광장비의 현지 셋업을 진행 중이라고 29일 밝혔다.

이번 셋업은 6월 중국 현지 톱티어 반도체 리퍼비시 장비 전문 에이전트를 통해 수주한 기술용역 계약에 따른 것이다. 투입된 ArF 노광장비는 기존 i-line(아이라인) 및 KrF(불화크립톤) 장비 대비 고해상도 초미세 패턴 구현이 가능한 핵심 전공정 설비다.

앤에스알시는 2024년부터 A사에 다양한 노광장비에 대한 기술용역을 제공 중이다. 노광장비는 정밀도와 셋업 안정성이 생산라인 운영에 직접적인 영향을 미치기 때문에 현지 설치와 기술 대응 역량이 핵심 경쟁 요소로 꼽힌다.

최근 중국 반도체 기업들이 기술 자립에 나선 가운데, 현지 생산설비 투자가 확대되면서 장비 수요도 급증하고 있다. 특히 신규 장비 확보가 제한적인 반도체 공정에서는 납기와 비용 효율성을 갖춘 리퍼비시 장비가 현실적인 대안으로 주목받고 있으며, 안정적인 공급과 현지 셋업 역량의 중요성도 커지고 있다.

앤에스알시는 소싱부터 점검, 성능 고도화, 이전 설치, 셋업, 유지보수(A/S)까지 아우르는 엔지니어링 역량을 강화하면서 중국과 대만 등 글로벌 기업에 제품을 공급해오고 있다.

회사 관계자는 “중국 반도체 기업들의 설비 투자와 공정 고도화 수요가 이어지는 가운데, 리퍼비시 노광장비는 납기와 비용 효율성 측면에서 성숙·특화공정 고객사의 현실적인 선택지로 주목받고 있다”며 “현지 파트너 네트워크와 자체 엔지니어링 역량을 기반으로 중국 반도체 제조 고객사 대상 장비 공급과 기술용역 관련 신규 수주 확보에 나설 것”이라고 말했다.

이어 “이번 중국 반도체 대기업향 ArF 노광장비 셋업을 성공적으로 마무리해 현지 생산라인에 필요한 기술력을 입증할 것”이라며 “이외에도 다양한 해외 반도체 고객사를 대상으로 추가 공급계약을 체결해 고부가가치 사업을 확대해 나가겠다”고 덧붙였다.

한편 에이루트는 26일 반도체 노광장비 사업을 핵심 부문으로 편입하기 위해 자회사 앤에스알시를 흡수합병하기로 결정했다. 합병 기일은 2027년 1월 1일이다.