에코프로에이치엔, 삼성E&A에 330억원 규모 온실가스 저감설비 공급

국내 반도체사 생산시설에 RCS 도입
저온 촉매 분해 기술 앞세워 해외 고객사 확대 추진

▲에코프로에이치엔 CI. (에코프로)

에코프로에이치엔이 삼성E&A에 330억원 규모의 중앙식 온실가스 저감 시스템(RCS)을 공급한다.

에코프로에이치엔은 삼성E&A와 RCS 공급 계약을 체결했다고 27일 공시했다. 이번에 공급하는 설비는 국내 반도체사 생산시설에 도입될 예정이다.

RCS는 반도체 공정에서 발생하는 과불화화합물(PFCs)을 처리하는 대용량 온실가스 저감 시스템이다. PFCs는 이산화탄소보다 지구온난화지수가 수천~수만 배 높아 반도체 제조 과정에서 주요 환경 규제 대응 대상으로 꼽힌다.

에코프로에이치엔의 RCS는 촉매 기반 저온 분해 기술을 적용한 것이 특징이다. 기존 열분해 방식은 온실가스를 처리하기 위해 1300~1400도의 초고온 공정이 필요하지만, 에코프로에이치엔은 이를 750~800도 수준에서 분해할 수 있다고 설명했다.

회사 측은 이 기술을 통해 기존 방식보다 에너지 사용량을 약 95% 절감하면서도 높은 온실가스 제거 효율을 확보했다고 밝혔다.

에코프로에이치엔은 이번 수주를 계기로 국내 반도체사를 대상으로 한 온실가스 저감 사업의 연속성을 확보했다는 입장이다. 향후 반도체 메가 프로젝트와 대규모 첨단산업단지 조성에 따라 관련 설비 수요가 늘어날 것으로 기대하고 있다.

회사는 국내 반도체사의 해외 생산거점 확대 흐름에 맞춰 북미를 비롯한 글로벌 반도체 기업으로 고객사를 다변화할 계획이다.

에코프로에이치엔 관계자는 “이번 수주는 온실가스 저감 기술력과 설비 신뢰성을 다시 인정받은 결과”라며 “차별화된 기술을 바탕으로 국내뿐 아니라 글로벌 반도체 시장으로 고객사를 확대해 나가겠다”고 말했다.