SK하이닉스, ASML로부터 12조원 규모 EUV 장비 도입

입력 2026-03-24 14:27

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▲SK하이닉스 장비 안전 관리 시스템 (사진=SK하이닉스)
▲SK하이닉스 장비 안전 관리 시스템 (사진=SK하이닉스)

SK하이닉스가 12조원 규모의 극자외선(EUV) 장비 투자를 단행하며 선단 공정 전환과 생산능력 확대에 속도를 낸다. 인공지능(AI) 메모리 수요 급증에 대응하기 위한 선제적 투자다.

SK하이닉스는 네덜란드 장비업체 ASML로부터 11조9497억원 규모의 EUV 스캐너를 도입하기로 결정했다고 24일 공시했다. 이는 2024년 말 기준 자산총액의 9.97% 수준이다.

장비 도입은 2027년 12월까지 순차적으로 진행된다. 장비 구매뿐 아니라 설치와 개조 비용까지 포함된 규모다.

이번 투자는 고대역폭메모리(HBM) 등 AI 메모리 수요 확대와 범용 D램 시장 회복에 대응하기 위한 포석이다. 서버와 모바일 등 전방 산업에서 메모리 수요가 동반 증가하는 흐름을 반영했다.

핵심은 6세대(1c) 공정 전환이다. SK하이닉스는 EUV 도입을 통해 1c 기반 양산 체제를 구축하고 HBM, DDR5, LPDDR6 등 차세대 제품 경쟁력을 강화할 계획이다.

1c 공정은 미세화 기반으로 생산성과 전력 효율을 높이고 데이터 처리 속도를 개선하는 것이 특징이다. 회사는 이미 1c DDR5와 LPDDR6 개발을 통해 선단 공정 경쟁력을 확보한 상태다.

생산 인프라도 빠르게 확대 중이다. 청주 M15X 공장의 생산능력 극대화를 추진하고 있으며, 2단계 클린룸 가동 시점도 기존 계획보다 2개월 앞당겼다.

용인 반도체 클러스터 내 1기 팹 역시 내년 2월 클린룸 가동을 목표로 준비 중이다.

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