'엔에이치스팩29호' 세미티에스, 질소퍼지시스템 日 다국적 팹 실증테스트 돌입

글로벌 스탠다드 기대

글로벌 반도체자동물류반송시스템(AMHS) 통합 솔루션 선도기업 세미티에스가 반도체 공정 내 수율을 좌우하는 핵심 설비인 질소퍼지시스템을 앞세워 글로벌 시장 진입에 속도를 내고 있다.

세미티에스는 최근 일본 소재 글로벌 반도체 팹을 대상으로 실제 공정 적용을 전제로 한 퀄테스트(품질테스트) 진행을 통해 실증 단계에 돌입했다고 24일 밝혔다. 이는 단순 기술 테스트가 아닌 글로벌 양산 공정 기준 충족 여부를 검증하는 핵심 관문으로 기술의 상업적 적용 가능성을 가늠할 중요한 분기점으로 평가된다.

반도체 공정이 미세화·고집적화될수록 산화 및 오염을 억제하는 환경 제어 기술의 중요성은 더욱 커지고 있다. 특히 고대역폭메모리(HBM) 등 고성능 반도체 공정에서는 극미량의 산소·수분 변화도 수율 저하로 이어질 수 있어 안정적인 질소 퍼지 환경 구축이 필수 인프라로 자리 잡고 있다고 한다.

세미티에스의 비개조형 질소퍼지시스템은 기존 설비 구조 변경 없이 공정 내 불순물 유입을 최소화할 수 있는 구조적 강점이 있으며, 생산 안정성과 공정 효율을 동시에 확보할 수 있는 솔루션으로 평가된다. 이러한 경쟁력을 기반으로 연내 실증 테스트 검증 완료 후 양산 라인 적용과 수주로 이어질 가능성이 큰 상황이라고 회사 측은 강조했다. 이는 국내 중심 레퍼런스(공급사례)를 넘어 글로벌 대형 고객사 확보로 이어질 수 있는 전환점이 될 전망이다.

세미티에스 관계자는 “이번 퀄테스트 진입은 당사 질소퍼지시스템의 기술 신뢰성과 글로벌 공정 적용 가능성을 검증받는 상업화 분수령을 의미한다” 며 “연내 검증 완료 이후 해외 대형 팹을 중심으로 적용 확대와 수주 성과를 이어가며 반도체 공정 인프라 내 표준 솔루션으로 자리매김해 나가겠다”고 말했다.

한편 세미티에스는 엔에이치스팩29호와 스팩 소멸합병을 통한 코스닥 상장을 추진하고 있다.