ASML 최고경영자 방한⋯삼성ㆍSK 경영진과 협력 회동

▲ASML 전경 (연합뉴스)

반도체 업계 '슈퍼 을(乙)'로 불리는 ASML의 크리스토프 푸케 최고경영자(CEO)가 방한해 삼성전자와 SK하이닉스 주요 경영진들과 회동하며 사업 협력 강화 의지를 다졌다. ASML은 한국에 새로운 제조기지를 건설하고, 국내 기업들과 협업을 확대할 것으로 보인다.

12일 업계에 따르면 푸케 CEO는 이날 오전 경기 화성 송동에서 열리는 ASML 화성캠퍼스 준공식에 참석한 뒤 오후에 전영현 삼성전자 디바이스솔루션(DS)부문장 부회장을 만날 예정이다. 전날에는 곽노정 SK하이닉스 대표이사 사장을 만난 것으로 알려졌다.

ASML은 네덜란드의 반도체 장비 기업이다. 반도체 초미세공정 구현에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산하고 있다.

ASML은 이번 회동에서 삼성과 SK와 함께 미래 반도체에 대한 다양한 협력 논의를 이어갈 것으로 보인다. 특히 우리 기업들이 향후 ASML의 차세대 장비 반입에 있어 유리한 위치를 선점할 가능성도 제기된다.

앞서 삼성전자와 SK하이닉스는 ASML의 최첨단 'High(하이) NA 극자외선(EUV)' 장비를 반입한 바 있다. 하이 NA EUV는 기존 EUV보다 해상도를 크게 향상한 차세대 노광 장비다. 2나노 이하 시스템 반도체와 10나노 이하 메모리 반도체 생산에 필수적으로 사용된다. 무엇보다 연간 생산 가능 물량이 매우 적어 장비 확보를 위한 글로벌 경쟁이 매우 치열하다.

삼성전자는 올해 초 처음으로 하이 NA 장비를 설치했으며, 연내 양산용 장비를 한 대 더 추가하기로 했다. SK하이닉스 역시 9월 양산용 하이 NA EUV를 이천 M16팹에 반입한 바 있다.

한편 ASML 화성캠퍼스는 경기 화성시 동탄신도시 내 1만6000㎡ 규모로 구축됐다. 앞서 ASML은 2025년까지 총 2400억 원을 투자해 경기 화성에 반도체 장비 클러스터인 '뉴 캠퍼스'(화성캠퍼스)를 짓겠다는 계획을 발표한 바 있다.

센터에는 심자외선(DUV)·EUV 노광장비 등 첨단장비 부품의 재(再)제조센터와 첨단 기술을 전수하기 위한 트레이닝 센터 등이 들어섰다.

ASML은 화성캠퍼스 이곳을 거점으로 국내 반도체 기업과의 공정 협력 및 기술 교류를 강화하고, 국내 소재·부품·장비) 기업과의 연계 생태계를 구축해 한국 반도체 산업과의 상생형 협력 모델을 본격화할 계획이다.