대만, 4000억 원대 ASML 투자 승인…린커우 공장 건설 목적

지난해 발표한 300억 대만달러 중 104억 대만달러 투입
세계 유일 EUV 노광장비 공급업체

▲네덜란드 아인트호벤에서 ASML 본사 건물이 보인다. 아인트호벤(네덜란드)/로이터연합뉴스

대만이 네덜란드 반도체 기업 ASML의 4000억 원대 투자를 승인했다.

30일 대만 매체 중국시보에 따르면 대만 경제부는 전날 투자심사위원회를 열고 6건의 대형 투자를 승인했다.

이 가운데 가장 큰 규모는 ASML의 104억 대만달러(약 4321억 원) 투자 건이었다. 지난해 ASML은 대만 신베이시 린커우 1구역에 300억 대만달러를 투입해 공장을 짓겠다고 발표했다. 이번 투자는 공장 신설 계획의 일부분이다.

ASML은 세계 유일의 극자외선(EUV) 노광장비 공급업체다. 해당 장비는 첨단 반도체 생산 시 필수 장비로 통한다. 현재 TSMC와 삼성전자, 인텔 등 대기업들도 EUV 도입에 적극 나서고 있다고 중국시보는 설명했다.

ASML은 EUV 노광장비를 네덜란드에서 생산ㆍ수출하고 있지만, 최근 들어 여러 국가와 협력하고 있다. 한국에선 2400억 원을 투입해 화성시에 반도체 클러스터 ‘뉴 캠퍼스’를 짓고 있다. 2024년 말 완공 예정인 이곳엔 심자외선(DUV)과 EUV 노광장비와 관련한 부품의 재(再) 제조센터 등이 세워진다.

6월엔 일본과 네덜란드 정부가 반도체 협력 양해각서를 체결했는데, ASML과 일본 라피더스 제휴가 포함됐다.