[공시]테스, 기판처리장치 특허권 취득

입력 2011-06-23 13:43

이재현 기자

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테스는 23일 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 “모든 기판이 일정한 양과 시간 동안 공정가스에 노출되는 구조를 형성함으로 기판에 증착되는 박막의 균일도가 향상되는 장점이 있다”고 설명했다.

(주)테스 (095610)

대표이사: 주숭일, 이재호 (각자 대표이사)

이사구성: 이사 4명 / 사외이사 1명

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