[공시]테스, 특허권 취득

수정 2010-07-12 13:57

입력 2010-07-12 13:57

김하늬 기자

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테스는 12일 플라즈마처리장치 특허권을 취득했다고 공시했다.

테스 관계자는 “이번 특허는 플라즈마의 분포 밀도를 높여 공정시간을 단축시키고 공졍 효율을 높일 수는 기술”이라며 “반도체 및 태양전지 장비 개발에 활용해 반도체장비 제조 경쟁력을 강화하고 기술경쟁력과 원가 경쟁력을 향상시킬 것”으로 기대했다.

(주)테스 (095610)

대표이사: 주숭일, 이재호 (각자 대표이사)

이사구성: 이사 4명 / 사외이사 1명

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