아스타, 日 글로벌 반도체 소재 기업에 TGA-TOF 시스템 첫 공급

반도체 시장 본격 진입 … 글로벌 분석장비 수출 확대 신호탄

질량분석기 전문기업 아스타가 일본 글로벌 반도체 소재 기업으로부터 열중량분석-비행시간형 질량분석기 통합 시스템(TGA-TOF)을 수주했다. 특히 이번 계약은 반도체 산업 부문에서 첫 공급이다.

21일 아스타 관계자는 “이번 계약은 자사가 의료 진단 분야를 넘어 산업용 정밀분석 시장, 특히 고부가가치 반도체 공정 분석 시장으로 본격 진입하는 신호탄”이라며 “향후 산업용 분석장비 매출의 외형 성장과 글로벌 확장성에 대한 기대감을 높이고 있다”고 밝혔다.

이번 발주처는 포토레지스트(감광제) 분야에서 글로벌 상위권의 일본 반도체소재 기업이다. ArF 포토레지스트, 다층재료, 디스플레이용 배향막 및 절연막 등에서 글로벌 최고 수준의 시장 점유율을 확보하고 있다. 이 기업은 특히 반도체와 디스플레이 소재의 초정밀 품질관리에 높은 기준을 적용해 공급 파트너 선정이 까다로운 것으로 알려져 있다.

아스타의 TGA-TOF 시스템은 해당 기업의 검증을 통과하고 이번 수주로 이어져 기술력과 신뢰도에서 국제적 수준의 평가를 받은 것이라고 회사 측은 설명했다.

TGA-TOF 시스템은 열중량 분석(TGA)과 비행시간형 질량분석기(TOF-MS) 기술을 융합한 복합형 정밀분석 장비다. 재료 열분해 시 발생하는 미세가스를 실시간으로 감지·분석해 수분, 유기용매, 휘발성 잔류물 등의 존재 여부를 고정밀 추적할 수 있다.

이를 통해 반도체 제조공정에서 발생하는 공정 중 잔여물 분석, 공기정화장치(스크러버) 효율 개선, 나아가 ESG 대응을 위한 환경 방출가스 정밀 모니터링까지 가능한 다기능 고부가가치 솔루션으로 주목받고 있다. 기존 분석장비 대비 풍부하고 정량적인 데이터 확보가 가능해 고객사의 품질관리 수준을 혁신적으로 제고할 수 있다.

아스타는 그간 말디토프 기반 의료 진단 장비로 시장에 진입한 후 OLED, 2차전지, 정밀화학 등 다양한 산업군을 대상으로 신개념 분석장비를 지속적으로 개발·공급해 왔다. 이번 일본 수주는 아스타가 산업용 분석기기 분야에서 반도체 시장 진출의 교두보를 확보한 사례로 향후 추가적인 글로벌 수주 가능성을 더욱 높이고 있다.

회사 관계자는 “세계적인 열분석기 전문 기업과 협업해 반도체 및 이차전지 공정 분야에서 수율 향상 및 품질 고도화 수요에 대응하는 매출 확대 전략을 적극적으로 추진 중”이라며 “이번 일본 시장 진입을 발판으로 북미ㆍ유럽 등 글로벌 반도체 밸류체인 확장에도 속도를 낼 것”이라고 말했다.