나노엑스, 마이크로LED 검사용 프로브카드 양산 성공…“세계 최초”

입력 2023-11-29 09:57
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(사진제공=나노엑스)
(사진제공=나노엑스)

나노엑스는 10마이크로미터 피치(Pitch) 이하의 기술을 구현한 ‘마이크로LED 검사용 프로브카드’ 양산에 세계 최초로 성공했다고 29일 밝혔다.

초고해상도의 명암비 및 색 표현이 뛰어난 마이크로LED는 차세대 디스플레이와 웨어러블 디바이스의 핵심 부품으로 꼽히지만, 장비 특성상 머리카락 두께의 3분의 1 수준인 30마이크로미터 이하 크기로 필수 검사인 EL(Electro Luminescence)을 진행해야 하는 어려움이 따라 상용화가 더딘 상황이다.

나노엑스는 자사가 보유한 ‘NEMS(3D 나노전자기계시스템)’를 기반으로 △완전 수직형(Full Vertical) 나노핀, ‘nPin™’ △각각의 핀 별로 개별적 탄성 구조를 갖는 기술인 ‘iEPt™’를 개발하고 두 기술을 접목시켜 현존하는 가장 작은 사이즈의 마이크로 LED 검사용 프로브카드 양산 시스템 구축에 세계 최초로 성공했다.

핀 직경이 3마이크로미터 이하, 핀 간격이 10마이크로미터 미만으로 1028개 채널이 동시 접촉이 가능한 나노엑스의 마이크로LED 검사용 프로브카드는 핀 간격이 40마이크로미터 이상인 기존 MEMS 기술로는 검사 자체가 불가능했던 기술적 한계를 극복했다. 이를 기반으로 나노엑스는 이달, 국내 대기업과 마이크로LED 검사용 장비 및 프로브카드 성능 평가를 진행했으며 최근에는 글로벌 마이크로LED 기업에 납품 계약을 체결했다. 또한 현재 다수의 국내외 글로벌 기업들과도 계약 진행 및 논의 중이다.

나노엑스의 프로브카드는 마이크로LED 외에도 고대역폭 메모리 HBM(High Bandwidth Memory)와 같이 초미세 핀 간격을 요구하는 다양한 분야에서 초정밀 소자 검사 장비로 활용할 수 있다. 또한 기존 프로브카드와 달리 완전 수직형 초미세 핀으로 정확한 검사가 가능하고, 높은 탄성력으로 접촉력이 우수해 검사 과정에서 손상률이 낮은 만큼 수명이 길어져 단가 경쟁력도 높다.

박두진 나노엑스 대표는 “삼성, 애플 등 글로벌 IT기업들이 차세대 디스플레이로 마이크로LED를 채택했으나 검사 및 리페어 기술의 부재로 양산 및 상용화가 더딘 실정”이라며 “자사의 독자적인 NEMS 기술과 노하우로 세계 최초 및 유일하게 마이크로LED 특성에 맞는 검사 프로브카드 양산에 성공, 디스플레이 시장을 활성화 시킬 것으로 기대한다"고 말했다.

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