티씨케이, 'SiC 링' 특허 무효 소송ㆍ심판 연이어 승소

티씨케이는 디에스테크노와 2019년부터 벌여온 특허 무효 소송과 심판에서 연이어 승소했다고 17일 밝혔다.

지난 13일 특허법원은 디에스테크노가 티씨케이를 상대로 제기한 실리콘카바이드(SiC) 포커스링 항소심에서 제조 방법에 관한 특허성을 인정했다. 앞서 12일 특허심판원은 티씨케이의 또 다른 SiC 포커스링의 특허성을 인정했다.

티씨케이는 반도체 공정에 사용되는 CVD SiC 포커스링을 주력으로 제조, 판매하는 업체다. 티씨케이는 세계 최초로 CVD 챔버에서 SiC 원료가스를 분사하는 여러 개의 노즐을 순차적으로 사용하는 방식을 도입했고, 이와 관련한 핵심 특허를 다수 보유 중이다.

티씨케이는 이번 소송 결과를 바탕으로 그동안의 피해 구제는 물론 다른 회사의 특허 침해에 대해서도 법적 조치를 통해 대응해 나갈 방침이다.

티씨케이 관계자는 "기술 개발과 이를 중심으로 한 경영과 함께 특허를 침해하는 등의 부정한 방법으로 제품을 제조, 판매하는 회사들에 대해서는 정당한 권리 보호를 위한 법적 조치를 취해 나갈 것"이라고 전했다.