테스, 반도체 장비 적용 기술 특허권 취득

입력 2018-11-08 13:43

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테스는 반도체 장비에 적용되는 기술인 마스크 어셈블리에 관한 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.

회사 측은 "쉐도우 프레임을 상기 마스크 프레임의 상면과 동일 면상 또는 상기 마스크 프레임의 상면보다 아래에 위치하도록 배치해 가스공급부와 마스크 사이의 거리를 현저히 줄임으로써 종래에 비해 상대적으로 공정마진을 크게 할 수 있게 되어 플라즈마 밀도를 향상시키고 박막의 균일도를 개선할 수 있다"고 밝혔다.

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