싸이맥스, 로드포트 정렬 측정 장치 특허 취득

입력 2017-12-05 11:55

유혜은 기자

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싸이맥스는 로드포트 정렬 측정 장치 관련 특허를 취득했다고 5일 공시했다.

회사 측은 “본 발명은 로드포트 정렬 측정 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼나 반도체로 일컬어지는 기판 제조 공정에서 기판의 반송에 사용되는 로드포트에서 구동 상의 정렬 상태를 측정할 수 있는 로드포트 정렬 측정 장치에 관한 것”이라고 밝혔다.

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