에스엔유는 모노머 증착 장치 특허권을 취득했다고 13일 공시했다. 이는 기판 위에 모노머물질이 균일하게 증착되도록 장치를 조절해 증착시간을 단축시키는 특허다.
회사 측은 디스플레이 제조장치 등에 특허를 활용할 계획이다.
입력 2015-11-13 10:37
에스엔유는 모노머 증착 장치 특허권을 취득했다고 13일 공시했다. 이는 기판 위에 모노머물질이 균일하게 증착되도록 장치를 조절해 증착시간을 단축시키는 특허다.
회사 측은 디스플레이 제조장치 등에 특허를 활용할 계획이다.
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