주성엔지니어링, 매칭박스 고정장치 관련 특허 취득

주성엔지니어링은 16일 매칭박스 고정장치를 가지는 척과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

주성엔지니어링 관계자는 "본 발명은 챔버(chamber) 내에 설치되어 반도체 제조공정 중 웨이퍼(wafer)를 지지 및 온도 제어하는 척(chuck)에 관한 것으로, 알에프(RF : Radio Frequency) 전력을 출력하는 알에프 전원공급장치와, 상기 알에프 전력을 매칭하는 매칭(marching)장치와, 상기 매칭장치를 내부에 실장하는 박스 형상의 매칭박스(matching box)를 포함하는 반도체 제조장치에 있어서, 상기 매칭박스가 상기 척의 타단 상에 고정되도록, 상기 척의 타단에 부설되는 매칭박스 고정장치를 포함하는 척을 제공한다"고 설명했다.