아이피에스, 박막증착방법을 이용한 반도체 제조방법

입력 2006-09-20 11:49

김정화 기자

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!

북마크 되었습니다.
마이페이지에서 확인하세요.

가장작게
작게
기본
크게
가장크게

아이피에스는 20일 박막증착방법 및 이를 이용한 반도체 제조방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

아이피에스 관계자는 "본 발명은 탄소계 반사 방지막을 사용하는 반도체 소자의 제조공정에 관한 것으로, 탄소계 반사방지막의 표면 또는 중간층에 질소, 불소, 실리콘 등의 화합물을 첨가함으로써, 낮은 흡광 계수값을 유지하면서 내에칭설을 강하시켜 선택비를 높이는 탄소계 반사방지막을 형성할 수 있다"고 설명했다.

좋아요0
화나요0
슬퍼요0
추가취재 원해요0

주요 뉴스

단독 ‘자율주행자동차법’ 만든다…정부, 법체계 손질 본격화 [K-자율주행 2.0 리포트]

운전자 중심 교통체계 전면 손질 무인 자율주행 책임 구조 재설계 로보택시 도입 위한 제도 기반 마련 대한민국 도로 위 ‘운전의 주체’가 인간에서 시스템으로 옮겨가는 거대한 제도적 변곡점이 열린다. 정부가 무인 자율주행 시대에 맞춰 기존 운전자 중심 교통 법제를 전면 재정비하는 ‘자율주행자동차법’ 손질에 착수했다. 기존 운전자 중심
줄어드는 젊은 사장…골목경제 ‘역동성’ 약해진다[사라지는 청년 소상공인①]

국내 소상공인 규모는 늘고 있지만 청년 소상공인은 빠르게 줄고 있다. 창업 생태계에서 젊은층의 이탈이 이어지면서 소상공인 업계의 역동성과 체력이 약화되는 것 아니냐는 우려가 나온다. 15일 본지가 중소벤처기업부의 ‘2024년 소상공인 실태조사’ 결과를 분석한 결과 20대 청년 소상공인 감소폭이 큰 것으로 나타났다. 중기부 자료에 따르
3高에 가성비 입는다...SPA 브랜드 ‘조용한 진격’[불황 깨는 SPA 성공 방정식]

중간유통 과정 생략, 판매가 낮춰 가성비 높여 패션 소비 줄어도 SPA 판매량은 두 자릿수 증가 가성비는 기본, 차별화 상품 경쟁력이 성패 좌우 고유가·고환율·고물가 등 ‘3고’ 현상이 지속하면서 소비심리가 위축되는 가운데 가장 먼저 지갑이 닫히는 분야는 패션이다. 하지만 업황 침체에서도 두각을 드러내는 곳은 있기 마련이다. 패션업계에
똑똑한 AI에 환자 더 불안해졌다…자가진단 시대의 역설 [AI 주치의 환상 ①]

매일 4000만 명 이상, 챗GPT에 건강 상담 미묘한 표현 차이로 진단 ‘극과 극’ 응급상황 절반 놓친 연구결과 나와 인공지능(AI)이 의료 영역으로 빠르게 들어오고 있다. 스마트폰으로 언제든 증상을 입력하면 조언을 받을 수 있고, 수술실에서도 AI가 의사를 돕는 기술이 잇따라 등장하고 있다. 이에 ‘AI 주치의 시대’에 대한 기대가 커지고 있다
강남·여의도 잇는 '통로'는 옛말⋯동작구, 서남권 상업·업무 '거점' 조준

사당5구역 통합심의 통과·사당1동 SH 모아타운 선정 신대방삼거리역 일대 용적률 600% 파격 상향 노량진뉴타운 1만 가구 주거 단지 탈바꿈 가시화 서울 동작구가 강남과 여의도를 잇는 '베드타운'에서 벗어나 서남권의 핵심 상업·업무 복합 거점으로의 대대적인 체질 개선에 박차를 가하고 있다. 노량진뉴타운의 대규모 인허가가 마무리되며 1만
신약개발 위해 ‘실탄 확보’…바이오 기업들 잇단 자금 조달

지놈앤컴퍼니‧코오롱티슈진‧인벤티지랩 등 모회사‧국내 투자사 등으로부터 투자 유치 투자액은 연구개발‧상업화 등 운영자금에 사용 국내 바이오 기업들이 신약 개발을 위해 자금 조달과 투자 확대에 나서고 있다. 인공지능(AI) 기반 신약개발, 항체약물접합체(ADC), 장기지속형 주사제 등 차세대 기술 연구개발(R&D)에 필요한 ‘실탄’을 확보해
코스닥 액티브 ETF 성적표 갈렸다…중·소형주 ‘웃고’ 대형주 ‘주춤’

중소형 성장주 전략 ETF 수익률 앞서 대형주 중심 포트폴리오는 상승폭 제한 한화운용 코스닥150 액티브 ETF에도 관심 코스닥 시장을 기반으로 한 액티브 상장지수펀드(ETF) 두 종의 초기 성과가 뚜렷하게 갈렸다. 같은 코스닥 지수를 기반으로 하지만 종목 구성 전략이 달랐던 만큼 상장 직후 수익률 격차도 크게 벌어졌다는 분석이다. 15일 한
‘32만 전자·170만 닉스’ 올까…증시 요동쳐도 반도체 투톱 목표가 줄상향

미국과 이란 간 전쟁 여파로 국내 증시 변동성이 커졌지만, 삼성전자와 SK하이닉스를 향한 증권가의 시선은 오히려 낙관 쪽으로 기울고 있다. 주가가 단기 충격에 흔들리는 구간에서도 증권사들이 실적 추정치와 목표주가를 잇달아 높이며 ‘메모리 슈퍼사이클’ 전망에 힘을 싣고 있다. 15일 금융투자업계에 따르면 최근 주요 증권사들은 삼성전