오성엘에스티, 스핀코팅용 플램핑 지그 특허 취득

입력 2006-09-19 14:54

김정화 기자

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오성엘에스티은 19일 스핀코팅용 클램핑 지그와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

오성엘에스티 관계자는 " 발명은 스핀코팅용 클램핑 지그에 관한 것으로, 편광필름등의 피코팅부재에 기능성 막을 스핀 코팅시키기 위한 장치입니다. 본 기술은 이동 및 회전이 가능한 지그의 상면에 상기 필름의 탈/부착이 용이하도록 진공 유로와 점착 부재를 포함하고 있으며 공정 완료시까지 지그의 상면에 완전하게 상기 필름이 고정/밀착되어 기존 롤타입 코팅 방식에서 구현하기 힘든 초박막 코팅을 구현할 수 있는 스핀코팅용 클램핑 지그를 제공하고 있다"고 설명했다.

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