원익IPS, 'Ge-Sb-Te 화합물 박막 형성 방법' 특허 취득

입력 2014-08-07 11:59

문선영 기자

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원익IPS는 '게르마늄(Ge)-안티몬(Sb)-텔루륨(Te) 화합물 박막 형성 방법'에 대한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.

회사 측은 "기판에 형성된 패턴에서 패턴 외부에 박막이 형성되는 속도보다 패턴 내부에 형성되는 속도가 큰 원료가스를 이용해 갭필 특성을 향상시키는 기술"이라며 "디스플레이 장비 경쟁력을 높이는 데 사용할 예정"이라고 밝혔다.

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