아이피에스, 특허 취득 공시

입력 2006-08-08 16:21

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!
구글 선호매체 추가

  • 가장작게

  • 작게

  • 기본

  • 크게

  • 가장크게

아이피에스는 8일 박막증착용 반응용기 특허를 취득했다고 공시했다.

아이피에스 관계자는 "본 발명은 박막증착용 반응용기에 관한 것으로서, 반응용기에 장착되는 샤워헤드가 피딩부 하부에 순차적으로 결합되는 상부확산블록과, 중간확산블록과, 하부확산블록으로 구성되며, 이들 확산블록들의 결합을 통해 그 내부에 방사상으로 대칭되게 복수의 메인 유로 및 이 메인 유로와 연결되는 다수의 서브 유로들이 형성됨으로써, 피딩부에서 공급된 복수의 반응가스들이 샤워헤드에 형성된 메인 및 서브 유로들을 통해 기판 상으로 고르게 분사되므로, 기판상에 고순도 및 우수한 전기적 특성과 스텝 커버리지를 가지는 박막을 효과적으로 증착할 수 있다."고 설명했다.

  • 좋아요0
  • 화나요0
  • 슬퍼요0
  • 추가취재 원해요0

주요 뉴스

  • [종합] 10월 제조업 훈풍 분다지만⋯반도체 '독주'에 가려진 소재 '한파'
    [종합] 10월 제조업 훈풍 분다지만⋯반도체 '독주'에 가려진 소재 '한파'
    업황 전망 PSI 113 기록…전월 대비 5p 상승하며 긍정 흐름 반도체 수출 비중 47.5%로 역대 최고치…車 부문도 회복세 기대 철강·화학은 기준치 밑돌며 부진 지속…"수출 호황 속 기초 체력 키워야" 다음 달 국내 제조업 경기가 수출과 내수의 동반 회복세에 힘입어 전월에 이어 긍정적인 흐름을 이어갈 것으로 전망됐다. 다만 지표 상승의 기저에
  • 근대5종 성승민, 개인전 금메달⋯한국 선수단 첫 金 [아시안게임]
    근대5종 성승민, 개인전 금메달⋯한국 선수단 첫 金 [아시안게임]
    한국 여자 근대5종의 간판 성승민(한국체대)이 2026 아이치ㆍ나고야 아시안게임 여자 개인전 정상에 오르며 대한민국 선수단에 대회 첫 금메달을 안겼다. 성승민은 20일 일본 아이치현 안조 스포츠파크에서 열린 대회 근대5종 여자 개인전 결승에서 펜싱 250점, 장애물 경기 358점, 수영 295점, 레이저 런 589점을 합쳐 총점 1492점으로 우승했
  • 서울시, '한강 노을명소 지도' 공개⋯한강버스로 명품 노을 즐긴다
    서울시, '한강 노을명소 지도' 공개⋯한강버스로 명품 노을 즐긴다
    난지·여의도·반포·서울숲 등 노을 명소 소개 서울시가 일몰시간과 한강버스 운항시간까지 연결해 노을 감상에 활용할 수 있도록 지도를 마련했다. 서울시는 난지·여의도·반포·서울숲 등 한강 동쪽과 서쪽 구역을 나눠 노을 명소를 구분했다. 20일 서울시는 가을철 한강의 아름다운 석양 풍경을 시민들이 즐길 수 있도록 맞춤형 정보를 담은 '한
  • 추석 3093만명 이동 전망…25일 고속도로 684만대 ‘최대 혼잡’
    추석 3093만명 이동 전망…25일 고속도로 684만대 ‘최대 혼잡’
    올해 추석 연휴 기간 3093만 명이 이동할 것으로 전망됐다. 지난해보다 전체 이동 인원은 줄지만 연휴가 짧아 하루 평균 이동량은 크게 늘면서 추석 당일인 25일 고속도로 통행량이 684만 대에 달할 것으로 예상된다. 국토교통부는 23일부터 27일까지 5일간을 특별교통대책기간으로 지정하고 관계기관 합동 특별교통대책본부를 운영한다고 20일
  • 35조 '삼전닉스' 자사주 매입 끝나간다…증시 수급 공백 우려
    35조 '삼전닉스' 자사주 매입 끝나간다…증시 수급 공백 우려
    국내 증시의 수급 버팀목 역할을 해온 삼성전자와 SK하이닉스의 대규모 자사주 매입이 이르면 다음 달 중순 마무리될 전망이다. 당초 11월까지 예정됐던 매입이 빠른 속도로 진행되면서 종료 시점이 한 달가량 앞당겨질 가능성이 커졌다. 두 회사가 지금까지 투입한 자금만 35조원에 육박해 매입 종료 이후 수급 공백에 대한 우려도 나온다. 20
  • 이투데이 ‘2027 테크 퀘스트’ 10월 개최⋯대한민국 AI의 미래를 묻다
    이투데이 ‘2027 테크 퀘스트’ 10월 개최⋯대한민국 AI의 미래를 묻다
    10월 22일, 중소기업중앙회서 개최 한성숙 총리·장병탁 교수 등 AI 전문가 총출동 K-AI 반도체부터 AX·피지컬 AI까지 집중 조명 대한민국 AI 산업의 현주소를 진단하고 2027년을 이끌 차세대 기술·산업의 향방을 모색하는 자리가 열린다. AI 반도체와 산업 AX(AI 전환), 피지컬 AI, 로보틱스부터 AI 투자와 정부 정책까지 국내 AI 생태계의 핵심
  • 비 안 그치는 일본…추석여행·아시안게임 '비상' [해시태그]
    비 안 그치는 일본…추석여행·아시안게임 '비상' [해시태그]
    일본이 하늘과의 ‘밀당’ 중입니다. 비가 그칠 듯하다 다시 내리는 날씨가 일본 수도권을 3주 넘게 붙잡고 있는데요. 도쿄에서는 지난달 27일부터 이달 17일까지 22일 연속 비가 관측됐죠. 이달 들어 내린 비만 9월 한 달 평년 강수량의 약 1.5배에 달합니다. 기록적인 호우로 인명·주택 피해가 발생한 가운데 19일 개막하는 2026 아이치·나고야
  • 한우, 카타르 식탁 오른다…세 번째 할랄 수출길 열려
    한우, 카타르 식탁 오른다…세 번째 할랄 수출길 열려
    농식품부, 수출 위생 조건·검역증명서 협의 완료…10월 초 100㎏ 첫 선적 예정 뼈 없는 냉장·냉동 쇠고기 허용…갈비 등 뼈 있는 부위는 추후 협의 한우의 할랄 수출시장이 카타르까지 넓어졌다. 말레이시아와 아랍에미리트(UAE)에 이어 세 번째로 수출길이 열리면서 10월 초 냉장 쇠고기 100㎏이 첫 물량으로 선적될 예정이다. 농림축산식품부는

많이 본 뉴스

최신 영상

마켓 최신 뉴스

뉴스발전소

내가 저장한 뉴스 모아보기

한 컷

  • 오늘의 상승종목

  • 09.18 장종료

실시간 암호화폐 시세

  • 종목
  • 현재가(원)
  • 변동률
    • 비트코인
    • 110,180,000
    • -0.76%
    • 이더리움
    • 3,534,000
    • -2.05%
    • 비트코인 캐시
    • 338,200
    • -2.14%
    • 리플
    • 1,891
    • -3.27%
    • 솔라나
    • 148,600
    • -2.69%
    • 에이다
    • 305
    • -1.61%
    • 트론
    • 470
    • +1.51%
    • 스텔라루멘
    • 261
    • -3.69%
    • 비트코인에스브이
    • 22,740
    • -3.73%
    • 체인링크
    • 16,580
    • -3.1%
    • 샌드박스
    • 52.6
    • +1.17%
* 24시간 변동률 기준

Web3 레이더

  • 주목 펀딩
    • 1 Arc $222M
    • 2 Ripple $500M
    • 3 Morpho $175M
    • 4 Kalshi Series F $1B
  • 인기 프로젝트
    • 1 Zama FHE 인기지수 325
    • 2 Arc Infra 인기지수 319
    • 3 Argus 인기지수 315
    • 4 Derive DeFi 인기지수 305
  • 토큰 언락 임박
    • HumidiFi $12.4M · 유통량 113% D-80
    • Capricorn $22.1M · 유통량 53% D-33
    • FLock $5.7M · 유통량 41% D-10
    • DAOBase $580K · 유통량 43% D-28
Source from