아이피에스, 특허 취득 공시

입력 2006-08-08 16:21

김정화 기자

기자 이름을 클릭하면
더 자세한 정보를
확인할 수 있어요!

북마크 되었습니다.
마이페이지에서 확인하세요.

가장작게
작게
기본
크게
가장크게

아이피에스는 8일 박막증착용 반응용기 특허를 취득했다고 공시했다.

아이피에스 관계자는 "본 발명은 박막증착용 반응용기에 관한 것으로서, 반응용기에 장착되는 샤워헤드가 피딩부 하부에 순차적으로 결합되는 상부확산블록과, 중간확산블록과, 하부확산블록으로 구성되며, 이들 확산블록들의 결합을 통해 그 내부에 방사상으로 대칭되게 복수의 메인 유로 및 이 메인 유로와 연결되는 다수의 서브 유로들이 형성됨으로써, 피딩부에서 공급된 복수의 반응가스들이 샤워헤드에 형성된 메인 및 서브 유로들을 통해 기판 상으로 고르게 분사되므로, 기판상에 고순도 및 우수한 전기적 특성과 스텝 커버리지를 가지는 박막을 효과적으로 증착할 수 있다."고 설명했다.

좋아요0
화나요0
슬퍼요0
추가취재 원해요0

주요 뉴스

전세 35% 줄었는데 세금 압박까지⋯더 빨라지는 '월세화'

서울 전세 거래 1월→6월 35% 감소 실거주 유인 강화에 임대물량 축소 우려 전문가 “월세화→전셋값 상승 반복 가능성” 정부가 다주택자와 임대사업자에 대한 세 부담을 강화하면서 전·월세 시장의 공급 위축 우려가 커지고 있다. 실거주 중심으로 세제가 개편되면 민간 임대주택 공급이 줄고 임대료 상승 압력이 커질 수 있다는 우려가 나온다.
"선풍기 틀고 자면 죽나요?" 폭염이 재조명한 엄마표 괴담 [해시태그]

선풍기 틀고 자면 죽는다, 언제부터 시작됐을까? 선풍기 틀고 자면 안되는 이유? 질식·저체온증 괴담의 진실 선풍기보다 두려운 온열질환…열사병 의심 증상과 대처 선풍기 끄고 자라. 그러다 죽는다 엄마의 엄마, 그 엄마에게서 들어왔던 여름 괴담. 열대야로 괴로웠던 날에도 꼭 방에 들려 선풍기를 끄고 가는 엄마 덕에 무사히(?) 살아서 어른
체감 38도 육박…수도권·충남·전라 폭염중대경보

수도권과 일부 충남·전라권에 폭염중대경보가 내려진 가운데 낮 1시부터 체감온도가 38도에 육박했다. 기온은 오후 들어 더 오를 전망이며, 한낮 최고기온이 39도까지 치솟는 극심한 더위가 이어질 것으로 보인다. 기상청이 5일 오후 1시 10분 발표한 속보에 따르면 이날 오후 1시까지 최고체감온도는 경기 김포와 여주 금사에서 각각 37.7도를
만지고 누르며 푼다…스트레스 잡는 '말랑이' [데이터클립]

취업을 준비하는 Z세대 사이에서 왁뿌볼 등 촉감 장난감 '말랑이'가 스트레스를 달래는 소액 소비 아이템으로 인기를 끌고 있다. 진학사 캐치가 Z세대 구직자 1630명을 대상으로 '취업 준비 중 소비 인식'을 조사한 결과, 응답자의 56%는 취업 준비 기간에도 자신을 위한 소비와 일상이 필요하다고 답했다. 반면 '취업 전까지 소비와 여가를 줄
코스피, 외국인 1.4조 ‘사자’에 6600선 회복 눈앞…코스닥도 800선 탈환 가시권

코스피 지수가 외국인의 2조원 넘는 순매수에 힘입어 6600선 회복을 눈앞에 뒀다. 코스닥도 상승하며 800선 문턱에 다다랐다. 5일 코스피 지수는 전 거래일 대비 239.31포인트(3.76%) 오른 6598.26에 거래를 마감했다. 장중 6600선을 웃돌았지만 상승 폭을 일부 반납하며 6600선 바로 아래에서 장을 마쳤다. 오전 9시24분엔 매수 사이드카가 발
D램·낸드 모두 세계 1위…삼성, AI 메모리 '풀라인업'으로 승부

AI 메모리 전 영역 공략…'종합반도체' 강점 부각 HBM부터 SSD·패키징까지…원스톱 솔루션 경쟁력 강화 설계부터 생산·패키징까지 End-to-End 서비스 제공 삼성전자가 차세대 3D 메모리(zHBMㆍzNAND-O)를 공개한 것은 단순히 신제품을 선보인 차원을 넘어 AI 메모리 전 영역을 아우르는 '풀라인업' 전략을 본격화했다는 의미가 크다. 고대역폭메모
홈플러스, 2000억 긴급자금 유입됐다…13일 ‘영업 재개’

메리츠금융, 5일 집행...홈플러스, 상품 확보·협력사 대금 지급 9월 4일 회생계획안 가결 기한 앞두고 정상화 여부 최대 분수령 기업회생 절차를 진행 중인 홈플러스에 2000억 원 규모의 긴급운영자금(DIP)이 수혈되면서 다음 주 전국 67개 점포의 영업 재개가 가시화되고 있다. 5일 홈플러스와 법조계에 따르면 서울회생법원이 DIP 대출을 허가
태풍 '돌핀' 오키나와서 감속 모드…경로 꺾인다

대형 태풍 제13호 ‘돌핀’이 매우 강한 세력을 유지한 채 오키나와를 향해 서진하고 있다. 태풍은 오키나와 본섬 부근을 천천히 통과한 뒤 동중국해에서 북서쪽으로 경로를 꺾을 전망이다. 기상청에 따르면 돌핀은 5일 오전 3시 일본 오키나와 동쪽 약 1140㎞ 해상에서 시속 26㎞로 서진했다. 중심기압은 950hPa(헥토파스칼), 중심 부근 최대풍속