에스엔유, 태양전지 박막 가공장치 관련 특허 취득

입력 2013-01-23 23:11

이다람 기자

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에스엔유는 태양전지를 제작하는 과정에서 기판의 가장자리 부위의 변형 및 손상 없이 공정상에 발생하거나 남아 있는 이물질을 효과적으로 제거할 수 있는 가공장치인 박막 가공장치에 대한 특허를 받았다고 23일 공시했다.

#에스엔유

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