비아이이엠티는 7일 태양광 웨이퍼 텍스쳐링 공정시 사용되는 플라즈마 배기가스 순환 시스템에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 당사 태양광 장비사업에 적용, 경쟁력 강화에 나설 것이라고 밝혔다.
비아이이엠티는 7일 태양광 웨이퍼 텍스쳐링 공정시 사용되는 플라즈마 배기가스 순환 시스템에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.
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