엘오티베큠, 삼성에 세계 최대용량 건식진공펌프 납품

엘오티베큠은 세계 최대용량인 House Vacuum용 건식진공펌프(제품명 : GHD2700)를 삼성전자에 납품하기 시작했다고 18일 밝혔다.

이 제품은 기본모델 보다 27배 용량이 증가된 대용량 건식진공펌프로 고객의 요청으로 약 1년 6개월간의 제품개발기간과 1년간의 데모평가를 통해 삼성전자 15라인 반도체 공장에 납품했다.

개당 가격은 1억2000만원 수준이며 현재 2기를 납품했다. 통상 펍당 15기가 필요로한 것으로 알려졌다.

삼성전자는 전일 메모리 15라인 증설 및 신규 라인 건설 투자를 위해 2조5200억원을 투입한다고 공시한 바 있다.

회사 측에 따르면 향후 반도체 등 신규 Fab 건설 시 추가 납품이 이루어질 것으로 보고 있으며 LCD, 태양광, LED, OLED 등 첨단산업 공장 뿐만 아니라 깨끗한 환경을 요구하는 산업체 등에도 납품이 가능할 것으로 보고 있다.

회사 관계자는 "삼성전자의 요구에 따라 기존 공장 라인에 들어간 것"이라며 "추후 신규 라인에도 들어갈 것으로 보고 있다"고 설명했다.

이 관계자는 "최근에는 대용량 펌프의 경우 일반 건설산업 등에도 그 수요는 발생될 것으로 보고 있다"고 덧붙였다.