시노펙스, CMP필터 국내 최초 개발

시노펙스가 CMP 필터(Chemical Mechanical Polishing Filter) 국산화에 성공하며 전량 수입되던 CMP 필터가 국산 필터로 대체될 전망이다.

시노펙스가 국산화에 성공한 CMP필터는 반도체 제조 공정 중 핵심공정인 웨이퍼(Wafer) 연마에 사용되는 용액인 슬러리(Slurry)를 여과하는데 사용되는 필터로 첨단 반도체 제조 공정 특성상 높은 신뢰성과 품질이 요구돼 그 동안 수입에 의존해 왔다.

시노펙스는 이번에 개발된 CMP필터는 2년 간의 연구개발 끝에 자체 기술력으로 0.2마이크로(um)크기로 필터의 기공을 균일하게 만드는데 성공했으며 양산제품 공급을 확대 중이라고 설명했다.

시노펙스 손경익 대표이사는 "국내 반도체 및 LCD 공정에 사용되는 고성능 필터 시장이 연간 약 3000억원 규모이지만 대부분이 수입되고 있는 상황"이라며 "나노(Nano)급 필터 제품을 생산할 수 있는 기술력을 보유한 만큼 지속적인 제품 개발을 통해 그 동안 수입되던 고성능 필터시장을 대체해 나갈 계획"이라고 밝혔다.

현재 시노펙스는 CMP필터 개발로 기술력을 입증 받아 국내외 반도체 제조사 및 Slurry 제조사 등에 공급을 확대 중에 있으며 대기업으로부터 CMP필터뿐 아니라 Wound Type의 CMP필터, POU Filter 등을 추가적으로 개발요청 받은 상황이다.

또 반도체용 필터와 함께 최근에 바이오용 필터 개발에 성공, 국내 최초로 美 FDA 승인을 받아 제약 및 식음료용 필터 시장에도 진출하고 있다.

시노펙스는 산업용 필터뿐 아니라 블루골드 산업으로 각광받는 물처리 사업의 핵심인 필터와 시스템의 설계부터 시공까지의 토탈솔루션을 보유하고 있어 물관련 친환경 기업으로 도약하겠다는 계획이다.