에피밸리, 국산 LED 핵심장비 테스트 돌입

입력 2010-01-15 14:41

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발광다이오드(LED) 에피웨이퍼 및 칩 전문업체인 에피밸리는 주성엔지니어링이 국내 최초로 개발한 MOCVD(유기금속화학증착장비) 장비에 대한 테스트에 들어갔다고 15일 밝혔다.

MOCVD는 지식경제부 신성장동력 스마트프로젝트의 일환으로 주성엔지니어링이 자체 개발한 LED 장비로, 국산 장비로는 LED 칩 제조사에 공급되는 첫 사례이다. 이 장비는 LED 공정에 들어가는 전체 장비 투자비의 절반 가량을 차지하는 핵심장비로 국산화에 대한 요구가 큰 분야였다.

현재 MOCVD는 독일 액시트론(Axitron)과 미국 비코(Veeco)가 전세계 시장을 과점하고 있는 상황으로, 최근 국내외 LED TV 시장의 급성장으로 인해 삼성LED, LG이노텍 등 국내 기업들이 MOCVD 장비대수 확대에 적극 나서고 있다.

에피밸리 관계자는 “국내 최초로 개발된 MOCVD 장비를 테스트하는 것은 그만큼 에피밸리의 기술력도 검증 받는 의미가 있다”며, “국내 LED 업체들이 핵심장비의 대부분을 수입에 의존하고 있는 현실에 비춰볼 때, LED 장비 선택의 폭 확대와 칩 제조업체들의 생산능력 확대 등 국내 LED 산업 전반에 긍정적 영향을 끼칠 것”이라고 밝혔다.

회사 관계자는 또한 “수원의 R&D 라인이 아닌 구미 본사의 LED 양산라인에 바로 투입되어 가동하는 만큼, 빠른 시간 내 테스트 과정을 마무리한 후 본격적인 상용화에 들어갈 예정”이라고 밝히고, “이번에 도입된 MOCVD는 기존 장비에 비해 한대당 웨이퍼 처리능력이 3배 정도 높아 회사의 생산캐파 확대에도 큰 도움이 될 것”이라고 전망했다.

주성엔지니어링 관계자는 “주성의 GaN(질화갈륨) MOCVD 장비는 새로운 LED 사업분야에 진출하는 주성의 첫 장비인 만큼 기대가 매우 크다”며, “이번 MOCVD 장비의 에피밸리로의 반입은 주성의 월등한 기술력을 시장에 확인시킬 수 있는 계기가 될 것”이라고 밝혔다.

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