에피밸리, ETRI와 6인치 에피웨이퍼 공동개발 착수

입력 2009-11-12 10:50

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발광다이오드(LED) 에피웨이퍼 및 칩 전문업체인 에피밸리는 지난 11일 ETRI(한국전자통신연구원)와 ‘LED용 6인치 에피웨이퍼 및 칩 공정 개발’에 대한 기술지원사업 협약서를 체결, 본격적인 기술개발에 나섰다고 12일 밝혔다.

09년 11월부터 2010년 03월까지 약 5개월에 걸쳐 진행되는 이번 공동개발에서 에피밸리는 에피웨이퍼 제조 및 평가를 맡고, ETRI는 현재 보유 중인 6인치 칩 제조라인 사용 및 공정기술에 대한 지원을 담당하게 된다.

에피밸리와 ETRI가 공동 개발하는 6인치 에피웨이퍼는 사파이어 기판을 사용한 질화갈륨(GaN) 에피웨이퍼로 블루 LED칩을 생산하는데 쓰인다. 현재 4인치 일부 물량을 제외하고는 대부분의 LED 업체들이 2인치 질화갈륨(GaN) 에피웨이퍼를 제조해 LED 칩을 생산하고 있다.

에피밸리는 2인치 에피웨이퍼 공정을 6인치 공정으로 변경할 경우 웨이퍼 면적 증가에 따른 효과로 LED칩 생산량이 35% 이상 증가할 것이라고 밝혔다. 또한 공정단가가 기존 대비 40~50% 정도 절감되어 LED칩 생산단가를 현재보다 더 낮출 수 있을 것으로 기대하고 있다.

에피밸리 장훈철 대표는 “공급이 수요를 따라가지 못하는 현재 LED사업에서 가장 역량을 집중하고 있는 것이 생산규모의 확대”라며, “ETRI와의 6인치 에피웨이퍼 공동개발이 성공적으로 완료될 경우, 현재 2인치 생산라인을 4인치를 거치지 않고 6인치 생산라인으로 바로 교체하는 것도 검토할 예정이며, 이에 따른 LED칩 생산량의 증대 효과도 기대하고 있다”고 말했다.

장 대표는 또한 “08년 이미 사파이어 기판을 사용한 4인치 에피웨이퍼 양상기술 개발을 완료한 상태”라며, “이번 ETRI와의 공동개발을 통해 6인치 에피웨이퍼 개발 및 양산을 빠른 시일 내에 이뤄내겠다”고 말했다.

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