“특허 사냥 막았다”…CMTX, 램리서치 상대 특허심판 4건 모두 승소

특허심판원 심결서 CMTX에 손
“CMTX 제품, 기술 침해하지 않았다”

▲씨엠티엑스(CMTX)와 램리서치 간 특허 소송 현황 (사진제공-씨엠티엑스(CMTX))

반도체 공정용 실리콘 소재부품 전문기업 씨엠티엑스(CMTX)가 미국 반도체 장비업체 램리서치를 상대로 제기한 특허심판 4건에서 모두 승소했다. 글로벌 반도체 장비업체의 특허 공세 속에서도 자사 기술과 제품 정당성을 인정받은 것이다.

6일 CMTX에 따르면 특허심판원 제84부는 최근 씨엠티엑스가 청구한 램리서치의 특허 ‘무선 주파수(RF) 접지 복귀 장치들’에 대한 권리범위확인 심판에서 씨엠티엑스의 손을 들어줬다.

특허심판원은 씨엠티엑스 제품이 램리서치 특허의 ‘권리범위에 속하지 아니한다’는 심결을 내렸다. 씨엠티엑스 제품이 해당 특허 기술을 침해하지 않았다는 것이 핵심이다.

해당 특허는 반도체 식각 공정을 위한 플라즈마 챔버 내에서 원치 않는 영역의 이상 방전 발생을 막기 위해 무선 주파수(RF) 전류가 한정 링과 접지 링 사이의 ‘갭’을 관통해 흐르도록 한다는 내용이다.

램리서치는 2024년 10월, 이 기술을 포함한 인접 특허 2건을 침해했다며, 씨엠티엑스를 상대로 특허권 침해 금지 및 손해배상청구 소송을 서울중앙지방법원에 제기했다.

소송 대상 제품은 반도체 식각 공정 장비에 사용되는 소모품인 ‘한정 링’이다. 램리서치는 해당 제품에 대한 실용신안권을 보유하고 있었지만, 2021년 6월 존속기간이 만료된 이후 국내 반도체 소재·부품·장비 업계에서는 국산화 및 성능 개선 연구개발이 한창 진행 중이었다.

그런데 램리서치는 해당 제품에서도 무선 주파수(RF) 전류가 한정 링과 접지 링 사이의 갭을 관통해 흐른다고 주장하면서 특허권 침해 금지 소송을 제기했다.

이에 씨엠티엑스는 2건의 특허에 대해 각각 권리범위확인 및 특허무효 심판 총 4건을 특허심판원에 청구해 대응해 왔다.

특허심판원은 4건의 심판에서 씨엠티엑스 제품이 해당 특허 기술을 적용한 것이 아니라고 결론짓는 한편, 2건의 특허 자체도 일본의 공개 특허 등 선행 기술 결합에 의해 통상의 기술자가 쉽게 발명할 수 있으므로 진보성이 없어 무효라고 판단했다.

이에 따라 램리서치가 서울중앙지방법원에 제기한 특허권 침해 금지 주장은 특허 침해 여부와 특허의 유효성 여부에서 모두 정당성을 인정받지 못하게 됐다.

씨엠티엑스 관계자는 “글로벌 빅3 반도체 장비기업이 마치 ‘특허 사냥꾼’처럼, 기술 내용도 다른 특허들을 무분별하게 휘둘러 국내 소재·부품·장비 기업의 기술 개발과 시장 진입을 부당하게 막고자 하는 행태에 당당히 맞서 의미 있는 성과를 거뒀다”고 밝혔다.

한편 램리서치는 특허심판원 심결 결과에 불복해 이미 3건의 ‘심결취소소송’을 특허법원에 잇따라 제기했다. 특허소송의 1심격인 특허심판원 심결 결과를 받아들이지 않고, 2심격인 특허법원으로 끌고 가 소송전을 지속하겠다는 것이다. 자본력을 앞세워 국내 중소 소부장 기업을 압박하는 관행을 계속하겠다는 의지로 해석된다.

램리서치는 2022년 용인 코리아테크놀로지센터(KTC) 설립 이후 한국내 특허 등록을 급속히 늘려왔다. 2020년 68건에 불과하던 램리서치의 한국내 특허 등록 건수는 2022년 200건을 돌파한데 이어 2025년 361건으로 급증했다.

▲씨엠티엑스(CMTX) 구미 본사(M캠퍼스) 전경 (사진제공-씨엠티엑스(CMTX))