아이비젼웍스, 유리기판 미세 결함 검사 기술 특허 출원…차세대 반도체 시장 공략 가속화

이차전지 및 반도체 비전 검사 전문기업 아이비젼웍스가 유리기판의 미세 결함을 정밀하게 검출할 수 있는 광학 검사 기술에 대해 특허를 출원했다고 22일 밝혔다.

이번 특허는 멀티 투영 광학계를 적용한 유사 3D 검사 방식으로 유리기판의 비아홀, 크랙, 스크래치, 이물질, 얼룩 등 다양한 결함을 비파괴 방식으로 검사할 수 있는 기술이다.

아이비젼웍스는 해당 기술을 2023년부터 개발해 왔으며, 이를 기반으로 글라스 기판 및 반도체 검사 시스템 시장 진입을 본격화할 계획이다.

현재 유리기판 제조 관련 기업들은 양산 단계 진입을 앞두고 검사 시스템 도입을 적극적으로 검토 중이며, 아이비젼웍스는 검사 장비 업체들과 접촉을 이어가고 있다.

아이비젼웍스 관계자는 “유리기판 검사 기술에 대한 선행 특허 조사 결과, 같거나 유사한 기술은 확인되지 않았다"며 "인공지능(AI) 반도체용 메인 글라스 기판 및 글라스 인터포저 검사 시스템을 목표로 하고 있다"고 말했다.

그러면서 "LASER 가공부터 Via 도금 공정까지 전 공정에 대한 검사 기술을 확보할 계획”이라며 "TGV 마이크로 크랙 검사 시스템을 위한 광학계 시뮬레이션도 완료했으며, 해당 기술에 대한 특허 출원도 준비 중”이라고 덧붙였다.