뉴파워프라즈마, 반도체 환경규제 물질 처리 신제품 글로벌 반도체사 공급 추진

국내 유일 플라스마 관련 장비 업체 뉴파워프라즈마가 반도체 등의 공정 중 발생하는 환경규제 물질을 처리하는 신제품을 개발해 글로벌 반도체 기업에 공급할 예정이다. 갈수록 강화하는 환경규제에 대응하기 위해 반도체 제조업체들의 환경규제 물질 저감 장치 수요가 늘어날 것으로 관측된다.

2일 본지 취재를 종합하면 뉴파워프라즈마는 이르면 3분기 중 친환경처리 기술을 도입한 공정 부산물 플라스마 배기처리시스템(PPS)을 글로벌 반도체 기업 A사에 공급할 예정이다.

뉴파워프라즈마 관계자는 “현재 PPS를 공급 중인 고객사 외에 다른 글로벌 반도체 기업에도 3분기부터 PPS를 공급하기 위해 추진 중”이라며 “공정 중 챔버에서 발생하는 불순물을 플라스마로 분해하는 장치”라고 말했다.

회사 측에 따르면 PPS는 반도체·디스플레이 전 공정 중 챔버가 있는 상부층뿐만 아니라 하부층에서 배기를 담당하는 펌프에서 활용할 수 있는 제품이다.

상부층에서 각종 공정 가스를 이용해 플라스마 작업을 진행하게 되면 그에 따라 발생한 공정부산물(미반응 전구물질, 입자 및 종자, 캐리어 가스 등)이 발생하게 되는데 이 부산물들은 진공펌프를 이용해 스크러버를 거친 후 대기 중으로 배출되게 된다. 이때 진공펌프 내 공정 부산물의 축적으로 진공펌프의 수명 저하, 예측하지 못하는 펌프의 에러가 발생하고 삼불화질소(NF3), PFc와 독성 전구물질의 사용 증가에 따라 고온 연소 방식 스크러버로 가스처리 시 다량의 질소산화물(NOx)을 발생하는 환경적 이슈가 발생할 수 있다.

PPS는 미반응 처리 가스를 플라스마 가스 단계 반응을 이용해 목표 증착 물질 생성을 유도해 제거한다. 또 플라스마를 이용해 NOx 발생을 억제해 환경적 이슈 등을 해결하는 제품이다.

뉴파워프라즈마는 반도체 및 디스플레이 산업의 핵심공정인 박막공정 및 식각공정 장비에서 사용 중인 공정용 플라스마 발생장치(PRG)와 플라스마 발생 전원 공급 모듈을 제조하는 기업이다.

국내 유일의 플라스마 관련 장비 업체인 뉴파워프라즈마는 플라스마 세정기(RPG) 국내 1위, 플라스마 전원장치(이하 RFG) 세계 2위의 점유율을 기록하고 있다.

한편 미ㆍ중 무역 분쟁 이후 반도체 제조 관련 부품의 양국 간 통로가 막히면서 상대적으로 수출이 자유로운 뉴파워프라즈마의 수출 비중이 늘어난 것으로 알려졌다. 지난해 말 전체 매출 중 수출 비중은 40%에서 60%가량으로 증가했다. 이로 인해 지난해 반도체 산업의 투자 감소 추세에도 매출액을 유지하고 이익률도 개선했다고 한다.